申请/专利权人：四川大学;宜宾四川大学产业技术研究院

申请日：2023-12-18

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737816A

主分类号：C25F3/26

分类号：C25F3/26;C09G1/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请涉及化学机械抛光领域，尤其涉及一种加工钛合金表面的等离子体电化学机械抛光液及其应用，抛光液包括以下组分：0.01~40wt%的研磨颗粒、0.01~20wt%的络合剂，pH值调节剂，余量为去离子水；所述pH值调节剂用于调节抛光液的pH值为2~10；本发明的抛光液需要在外加电场作用下，将抛光液成分电离为等离子体，使得低能量密度的氧化络合作用转变为高能量密度的氧化络合作用，以此产生钛合金表面自钝化阻断效应，从而提高钛合金表面抛光加工效率。

主权项：1.一种用于加工钛合金表面的等离子体电化学机械抛光液，其特征在于，所述抛光液包括研磨颗粒、络合剂、pH调节剂，余量为水。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 四川大学;宜宾四川大学产业技术研究院 一种加工钛合金表面的等离子体电化学机械抛光液及其应用

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