申请/专利权人：湖北工业大学

申请日：2023-06-01

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN116947102B

主分类号：C01G39/04

分类号：C01G39/04;B01J19/08;B01D53/50;B01D53/68;B01D53/78

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2023.11.14#实质审查的生效;2023.10.27#公开

摘要：本发明公开了一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法和装置，所述的方法如下：S1、将钼粉末填充在等离子体反应器放电区域内；S2、向等离子体反应器放电区域内通入惰性气体和六氟化硫气体，惰性气体被电离成等离子体，六氟化硫气体经等离子体活化后被电离成氟原子和低氟硫化物；S3、氟原子和低氟硫化物与钼粉末发生反应，生成MoF6气体和硫单质。本发明首次提出以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离子体条件下与Mo进行反应生成MoF6，与传统以金属Mo和氟气F2在高温下250℃以上制备MoF6的方法相比，大幅度降低了反应的温度，从而大幅度降低了能耗，而且操作安全，实现了SF6的硫氟资源利用，解决了SF6转化率低的问题。

主权项：1.一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法，其特征在于包括如下步骤：S1、将钼粉末填充在等离子体反应器放电区域内，并在等离子体反应器放电区域内填充入催化六氟化硫活化电离的催化剂，所述的催化剂选自Al2O3和SiO2中的至少一种；S2、向等离子体反应器放电区域内通入惰性气体和六氟化硫气体，惰性气体被电离成等离子体，六氟化硫气体经等离子体活化后被电离成氟原子和低氟硫化物；S3、氟原子和低氟硫化物与钼粉末发生反应，生成MoF6气体和硫单质。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖北工业大学 一种基于等离子体活化SF₆制备MoF₆的方法和装置

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