申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2023-07-26

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747512A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677

优先权：["20220920 KR 10-2022-0118256"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：提供了在运输车和装载端口之间递送容器的容器递送单元以及包括该容器递送单元的物流运输系统。物流运输系统包括：容器运输单元，安装在半导体制造厂中，容器运输单元运输装载有半导体衬底的容器；装载端口单元，装载或卸载容器；半导体制造装备，连接到装载端口单元，半导体制造装备对装载在容器中的半导体衬底进行处理；以及容器递送单元，在容器运输单元和装载端口单元之间递送容器，其中，容器递送单元在装载端口单元上方安装在与容器运输单元的移动路径相同的高度上。

主权项：1.物流运输系统，包括：容器运输单元，安装在半导体制造厂中，所述容器运输单元运输装载有半导体衬底的容器；装载端口单元，装载或卸载所述容器；半导体制造装备，连接到所述装载端口单元，所述半导体制造装备对装载在所述容器中的所述半导体衬底进行处理；以及容器递送单元，在所述容器运输单元和所述装载端口单元之间递送所述容器，其中，所述容器递送单元在所述装载端口单元上方安装在与所述容器运输单元的移动路径相同的高度上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 容器递送单元和包括其的物流运输系统

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