申请/专利权人：江苏深绿新能源科技有限公司

申请日：2023-11-08

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740259A

主分类号：G01M3/20

分类号：G01M3/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及的一种循环检漏的氦质谱检漏系统的检漏方法，开启机械泵和罗茨泵，对粗抽管道、真空维持管、检漏上管抽空（系统待机）；连接待检气瓶，对气瓶夹层预抽空；预抽空真空度低于10Pa后，开启粗抽空真空阀，气瓶夹层进入真空维持，真空维持到低于1Pa后，开启氦检真空阀，对夹层进行独立法检漏；检漏完成后，开启氮气破空真空阀，对夹层充氮气破空；本发明设置3个抽口，瓶1氦检，瓶2真空维持，瓶3粗抽空，循环上瓶下瓶，实现连续作业，提高检漏速度和精度，降低了检漏成本。

主权项：1.一种循环检漏的氦质谱检漏系统的检漏方法，其特征在于，基于一种循环检漏的氦质谱检漏系统，该氦质谱检漏系统包括氦质谱检漏仪、连接真空室、粗抽空真空室、待检维持真空室以及三组检漏组件，所述氦质谱检漏仪与连接真空室连接；所述连接真空室、粗抽空真空室和待检维持真空室上分别设置三个抽口，每组抽口连接一组检漏组件；所述检漏组件包括氦检真空挡板阀、粗抽空真空挡板阀、维持真空挡板阀、氮气破空真空挡板阀和连接真空挡板阀，所述连接真空室上连接氦检真空挡板阀，所述粗抽空真空室上连接粗抽空真空挡板阀，所述待检维持真空室上连接维持真空挡板阀，所述氦检真空挡板阀、粗抽空真空挡板阀和维持真空挡板阀连接至一路总管路，总管路连接真空挡板阀，总管路上连接氮气破空真空挡板阀，所述连接真空挡板阀连接待检气瓶；所述检漏方法包括以下内容：S1、对真空室预抽空关闭每组检漏组件的氦检真空挡板阀、粗真空挡板阀、维持真空挡板阀和氮气破空真空挡板阀，对粗抽空真空室、待检维持真空室和氦质谱检漏仪连接真空室进行预抽空；S2、连接待检气瓶并对气瓶夹层预抽空连接待检气瓶1号，开启1号气瓶对应的粗真空挡板阀和连接真空挡板阀，关闭未接气瓶2号和3号的氦检真空挡板阀和维持真空挡板阀，对1号气瓶夹层预抽空；S3、1号气瓶夹层的预抽空真空度低于10Pa后，开启1号气瓶对应的维持真空挡板阀，关闭粗真空挡板阀，1号气瓶夹层进入真空维持；S4、对1号气瓶进行检漏1号气瓶夹层的真空维持到低于1Pa后，关闭1号气瓶对应的维持真空挡板阀，开启氦检真空挡板阀，对夹层进行独立检漏；S5、对1号气瓶夹层充氮气破空1号气瓶检漏完成后，关闭1号气瓶对应的氦检真空挡板阀，开启氮气破空真空挡板阀，对夹层充氮气破空，氮气压力1.02E+5Pa；S6、1号气瓶氦检，2号气瓶真空维持，3号气瓶粗抽空，循环上瓶下瓶，连续作业。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏深绿新能源科技有限公司 一种循环检漏的氦质谱检漏系统的检漏方法

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