申请/专利权人：杭州富芯半导体有限公司

申请日：2023-12-11

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740118A

主分类号：G01F25/10

分类号：G01F25/10

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请提供一种气体流量的检测方法，其包括下列步驟：抽取所述腔室内的气体，使所述腔室的气体压力降至底压；使所述腔室形成密闭的状态,从而使所述腔室具有既定的体积；所述控制装置产生第一流量数据Q1且传送至所述气体流量控制器；根据所述第一流量数据Q1开启所述气体流量控制器的控制阀，使校正气体经过所述气体流量控制器进入所述腔室；通过实际流量测定方法监测到进入所述腔室的所述校正气体的流量得到第二流量数据Q2；以流量监测器监测所述腔室的所述校正气体的流量得到第三流量数据Q3；比对所述第一流量数据Q1、所述第二流量数据Q2和所述第三流量数据Q3，当Q1＝Q2＝Q3时，判定所述气体流量控制器的运行状态为正常。

主权项：1.一种气体流量的检测方法，其用于检查设置于半导体设备的气体流量控制器的运行状态，所述半导体设备包括所述气体流量控制器、与所述气体流量控制器连接的腔室和与所述气体流量控制器电连接的控制装置，所述气体流量控制器包括流量传感器、分流器通道和流量控制阀，其特征在于,包括:抽取所述腔室内的气体，使所述腔室的气体压力降至底压；使所述腔室形成密闭的状态,从而使所述腔室具有既定的体积；所述控制装置产生第一流量数据Q1且传送至所述气体流量控制器；所述控制装置根据所述第一流量数据Q1开启所述气体流量控制器的所述流量控制阀，使校正气体经过所述气体流量控制器在设定时间内进入所述腔室；通过实际流量测定方法测量到进入所述腔室的所述校正气体的流量得到第二流量数据Q2；以流量监测器监测所述腔室的所述校正气体的流量得到第三流量数据Q3；所述控制装置比对所述第一流量数据Q1、所述第二流量数据Q2和所述第三流量数据Q3，当所述第一流量数据Q1、所述第二流量数据Q2和所述第三流量数据Q3任何二者不相等时，判定所述气体流量控制器的运行状态为不正常，当Q1＝Q2＝Q3时，判定所述气体流量控制器的运行状态为正常。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州富芯半导体有限公司 气体流量的检测方法

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