申请/专利权人：上海交通大学深圳研究院;上海交通大学

申请日：2023-12-12

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117741846A

主分类号：G02B5/08

分类号：G02B5/08;G02B5/26;G02B5/20;G02B5/00;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/58

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供了一种MIM型波段选择性红外调控兼辐射冷却薄膜及制备方法，该薄膜自下而上依次包括硅基底、金属反射层无机介质层和金属结构层。通过磁控溅射法在硅基底上依次沉积金属反射层、无机介质层和金属结构层；经紫外光刻、干法刻蚀、去胶后制得MIM型波段选择性红外调控兼辐射冷却薄膜。本发明的MIM型薄膜通过简单的周期结构实现了兼具可见近红外高反射和红外的选择性热调控的性能，材料来源广泛，所采用的制备工艺成熟，图案精准可控、重复性好，在智能热管理、热伪装等领域具有巨大的应用价值。

主权项：1.一种MIM型波段选择性红外调控兼辐射冷却薄膜，其特征在于，包括：硅基底、Al金属反射层、无机介质层和Al金属结构层；所述硅基底上设置有Al金属反射层，所述Al金属反射层上设置有无机介质层，所述无机介质层上设置有Al金属结构层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海交通大学深圳研究院;上海交通大学 MIM型波段选择性红外调控兼辐射冷却薄膜及制备方法

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