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【发明公布】一种用于单晶炉内加热器附着杂质就地清理的特种作业车_宁夏大学_202410023615.X 

申请/专利权人:宁夏大学

申请日:2024-01-08

公开(公告)日:2024-03-22

公开(公告)号:CN117732766A

主分类号:B08B1/12

分类号:B08B1/12;B08B1/36;B08B5/04

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要:本发明提供了一种用于单晶炉内加热器附着杂质就地清理的特种作业车,涉及机械领域,主要用以解决单晶炉在运行一炉后清除附着在加热器上的碳化硅、硅蒸汽、黄色氧化物等杂质过程中自动化程度较低问题,包括:中控台、电动底盘、定位杆、工业吸尘器、支撑架、电动提升机、吊绳、S型拖链、定位机架、旋转电机、齿圈、齿圈支撑架、旋转架、直线模组、升降电机、外表面清理作业头、内表面清理作业头、槽口清理作业头,将清理设备、控制单元、吸尘器、吊装搬运设备集成于一体,可完全实现加热器上附着杂质的自动清理及收集,结合清理过程中控制毛刷转速及毛刷与加热器表面间的接触应力,能有效控制清理的质量,取代人工清理。

主权项:1.一种用于单晶炉内加热器附着杂质就地清理的特种作业车,其特征在于,包括:中控台(1)、电动底盘(2)、定位杆(3)、工业吸尘器(4)、支撑架(5)、电动提升机(6)、吊绳(7)、S型拖链(8)、定位机架(9)、旋转电机(10)、齿圈(11)、齿圈支撑架(12)、旋转架(13)、直线模组(14)、升降电机(15)、外表面清理作业头(16)、内表面清理作业头(17)、槽口清理作业头(18)。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 宁夏大学 一种用于单晶炉内加热器附着杂质就地清理的特种作业车

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