申请/专利权人：东南大学

申请日：2021-04-02

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113284755B

主分类号：H01H19/14

分类号：H01H19/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.09.07#实质审查的生效;2021.08.20#公开

摘要：本发明公开了一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关，包括：一个具有交错穿孔的扭转平板、两个扭转支撑梁、两个固定支撑、一个固定电极和基底。交错穿孔矩形平板和基底间施加驱动电压，扭转平板做扭转运动。以往的矩形板没有穿孔，无孔平板因为转动惯量大，挤压膜阻尼大，所以开关响应慢，能量损耗大，应用价值不高。本发明提出一种具有穿孔结构的扭转式微开关，这些孔降低平板转动惯量，使得器件响应更快。穿孔也降低了挤压膜阻尼，大大减小了阻尼力导致的时滞。本发明提出穿孔比0.45的矩形平板，挤压膜阻尼减小十倍以上，转动惯量降低20％，吸合电压仅升高10％。

主权项：1.一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关，包括基底1、扭转平板4、固定支撑2、扭转支撑梁3和固定电极板5，所述固定支撑2和固定电极板5设置在所述基底1上，所述扭转平板4平行设置在固定电极板5上方，扭转平板4和固定支撑2之间通过所述扭转支撑梁3固定连接，扭转平板4可以以扭转支撑梁3为中心上下扭转，其特征在于：所述扭转平板4上开设有若干通孔6，所述通孔6按照一定的穿孔比均匀布设在扭转平板4上，所述扭转平板4的穿孔比为其中lp是正方形的通孔6的相邻孔-孔间距，lh是通孔6的边长，所述通孔6的数量至少为50个。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东南大学 一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关

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