申请/专利权人：大晟芯材料科技(山东)有限公司;滨化集团股份有限公司;滨化技术有限公司

申请日：2022-06-14

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114993802B

主分类号：G01N1/40

分类号：G01N1/40;G01N1/44;G01N1/28;G01N27/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2024.03.08#专利申请权的转移;2023.01.03#专利申请权的转移;2022.09.20#实质审查的生效;2022.09.02#公开

摘要：本发明属于化学测试方法技术领域，尤其涉及一种电子级氢氟酸中有机物杂质含量的测试方法，包括以下步骤：采用低温蒸发、高纯氮气吹扫除去电子级氢氟酸样品中的大量氟化氢，对样品进行浓缩，然后用超纯水对浓缩样品进行稀释，进一步降低样品中的酸度和氢氟酸含量；将前处理后的电子级氢氟酸水样采用灵敏度高的总有机碳分析仪进行检测，从而得到电子级氢氟酸中的有机物的含量。本发明所述方法采用低温蒸发高纯氮气吹扫的方式除去了样品中大量的氟离子，一方面减少了样品基低的干扰，另一方面也降低了氟离子在酸性环境下对仪器的损害；同时使样品中的目标物得到富集，提高了分析检测的灵敏度。

主权项：1.一种电子级氢氟酸中有机物杂质含量的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）样品前处理：采用蒸发、高纯氮气吹扫除去电子级氢氟酸样品中的氟化氢，对样品进行浓缩，然后用超纯水对浓缩样品进行稀释，进一步降低样品中的酸度和氢氟酸含量；（2）样品检测：将前处理后的电子级氢氟酸水样采用总有机碳分析仪进行检测，从而得到电子级氢氟酸中的有机物的含量；所述样品前处理需要利用样品前处理装置进行，所述样品前处理装置包括恒温加热器，所述恒温加热器的水浴锅上放置有铂皿，所述铂皿的一侧设置有尾气处理系统，所述铂皿的另一侧设置有氮气导入装置；所述尾气处理系统包括位于铂皿上方的尾气吸收罩，所述尾气吸收罩设置在支架上，所述尾气吸收罩上的出气口通过管道与废气吸收装置的进气口连接，所述支架的上下和前后角度均可调节；蒸发过程中，设置水浴锅的蒸发温度为25-50℃。

全文数据：

权利要求：

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