申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司

申请日：2022-10-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN115464543B

主分类号：B24B29/08

分类号：B24B29/08;B24B1/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.12.30#实质审查的生效;2022.12.13#公开

摘要：本发明提供一种拼接型高纯铝管靶的抛光方法，所述抛光方法包括对拼接型高纯铝管靶表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理和百洁布处理，得到抛光后的拼接型高纯铝管靶；所述拼接型高纯铝管靶从内至外依次包括304不锈钢内管、铟焊料层和高纯铝管；所述高纯铝管的纯度≥99.9wt％。本发明所述抛光方法操作简单，抛光后的拼接型高纯铝管靶表面粗糙度符合要求，并且纹路一致，达到了铝管靶的溅射使用要求，具有大规模工业化推广应用前景。

主权项：1.一种拼接型高纯铝管靶的抛光方法，其特征在于，所述抛光方法包括对拼接型高纯铝管靶表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理和百洁布处理，得到抛光后的拼接型高纯铝管靶；所述第一砂纸处理使用180#砂纸进行；所述第一砂纸处理后拼接型高纯铝管靶的表面粗糙度Ra为1～3μm；所述第二砂纸处理使用320#砂纸进行；所述百洁布处理使用180#百洁布进行；抛光后的拼接型高纯铝管靶的表面粗糙度Ra≤0.8μm；所述第一砂纸处理的过程中车床的转速为400～600rmin；所述第二砂纸处理的过程中车床的转速为400rmin以下；所述百洁布处理的过程中车床的转速为400rmin以下；所述拼接型高纯铝管靶从内至外依次包括304不锈钢内管、铟焊料层和高纯铝管；所述高纯铝管的纯度≥99.9wt％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种拼接型高纯铝管靶的抛光方法

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