申请/专利权人：南京理工大学

申请日：2022-10-18

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN115523863B

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.01.13#实质审查的生效;2022.12.27#公开

摘要：本发明公开了一种大口径移相干涉面形测量装置，用于大口径光学面形测量和光学系统波前测量。本装置包括斐索干涉仪、折转扩束准直模块、标准参考镜模块和标准反射镜模块。斐索干涉仪出射的准直光通过折转扩束准直模块中的扩束镜组扩束，经折转镜组折转，再经过准直物镜准直后输出大口径平面波。所述的大口径移相干涉面形测量装置，具有模块化、多种移相模式特点。

主权项：1.一种大口径移相干涉面形测量装置，其特征在于：包括共光轴依次设置的斐索干涉仪1、扩束镜组10、折转镜组、准直物镜7、标准参考镜8和标准反射镜9；斐索干涉仪1出射的光经扩束镜组10扩束后进入折转镜组，经折转镜组折转后进入准直物镜7进行准直，出射的准直光穿过标准参考镜8后经标准反射镜9反射，携带标准反射镜9面形信息的测试光与携带标准参考镜8面形信息的参考光产生干涉，通过移相算法解算，完成面形的干涉测量；所述扩束镜组10包括共光轴依次设置的第一透镜2、第二透镜3和第三透镜4；所述第一透镜2、第二透镜3和第三透镜4装于同一镜筒中，能够进行横向二维和轴向一维平移，平移范围±5mm，将镜筒中的扩束镜组10设置在五维调整架上，以实现俯仰和倾斜调整；准直物镜7置于能够轴向位移调整架上，进行调焦。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京理工大学 一种大口径移相干涉面形测量装置

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