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【发明授权】用于ICPMS基质偏移校准的系统和方法_基础科学公司_201910002140.5 

申请/专利权人:基础科学公司

申请日:2019-01-02

公开(公告)日:2024-03-22

公开(公告)号:CN110034006B

主分类号:H01J49/26

分类号:H01J49/26;H01J49/10;H01J49/00

优先权:["20171229 US 62/612,033","20181228 US 16/234,935"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.22#授权;2021.01.08#实质审查的生效;2019.07.19#公开

摘要:描述了用于校准用于分析连续的多个样本基质的分析仪器的系统和方法。系统实施例可以包括但不限于:样本分析设备,其被配置为从多个远程采样系统接收多个样本,以及确定在多个样本中的每个样本中包含的感兴趣的一个或多个物质的强度;以及控制器,其被配置为:基于通过样本分析设备进行的、对具有第一样本基质的第一标准溶液的分析,来生成主校准曲线;以及基于通过样本分析设备进行的、对具有第二样本基质的第二标准溶液的分析,来生成至少一个次校准曲线,控制器被配置为根据基质校正因子,将至少一个次校准曲线与主校准曲线进行关联。

主权项:1.一种用于校准电感耦合等离子体ICP分析仪器的系统,包括:样本分析设备,其被配置为从远程采样系统接收样本以及确定在接收的样本中的样本基质中的感兴趣的化学物质的浓度;以及控制器,其可操作地耦合到所述样本分析设备并且被配置为:基于由所述样本分析设备进行的、对在第一样本基质中的不同浓度的感兴趣的化学物质的分析,来生成主校准曲线,基于由所述样本分析设备进行的、对在第二样本基质中的不同浓度的感兴趣的化学物质的分析,来生成次校准曲线,以及确定用于将所述次校准曲线与所述主校准曲线相关联的基质校正因子,其中,所述主校准曲线具有主曲线斜率,而所述次校准曲线具有次曲线斜率,并且所述基质校正因子是通过将所述次曲线斜率除以所述主曲线斜率来确定的。

全文数据:用于ICPMS基质偏移校准的系统和方法背景技术电感耦合等离子体ICP光谱法是一种常用于测定液体样本中痕量元素浓度和同位素比的分析技术。ICP光谱法采用电磁产生的部分电离的氩等离子体,其温度达到约7,000K。当样本被引入等离子体时,高温会使样本原子变为电离或发光。由于每种化学元素产生特征质量或发射光谱,因此测量发射质量或光的光谱允许确定原始样本的元素组成。可以采用样本引入系统将液体样本引入ICP光谱仪器例如,电感耦合等离子体质谱仪ICPICP-MS,电感耦合等离子体原子发射光谱仪ICP-AES,或等用于分析。例如,样本引入系统可从容器中取出等分试样的液体样本,然后将等分试样传输到雾化器,该雾化器将等分试样转换成适于通过ICP光谱仪器在血浆中电离的多分散气溶胶。然后将气溶胶在喷雾室中分选以移除较大的气溶胶颗粒。在离开喷雾室时,通过ICP-MS或ICP-AES仪器的等离子炬组件将气溶胶引入等离子体中用于分析。发明内容描述了用于在分析具有连续的多个样本基质的样本时校准电感耦合等离子体分析仪器例如,ICP-MS、ICP-AES等的系统和方法。系统实施例可包括但不限于样本分析设备,其被配置为从多个远程采样系统接收多个样本并确定包含在多个样本中的每个样本中的一个或多个感兴趣物质的强度;以及控制器可操作地连接到样本分析设备,控制器被配置为基于由样本分析设备对具有第一样本基质的第一标准溶液的分析来生成主校准曲线,并基于由样本分析设备对具有第二样本基质的第二标准溶液的分析来生成至少一个次校准曲线,控制器被配置为根据基质校正因子将至少一个次校准曲线与主校准曲线相关联。提供本发明内容是为了以简化的形式介绍一些概念,这些概念将在下面的具体实施方式中进一步描述。本发明内容不旨在标识所要求保护的主题的关键特征或必要特征,也不旨在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。附图说明参考附图描述了具体实施方式。图1A是示出了根据本公开的示例实施例的被配置为分析通过长距离传输的样本的系统的部分线图。图1B是示出了根据本公开的示例实施例的用于对针对连续的多个样本基质的电感耦合等离子体分析仪器进行校准的方法的流程图。图1C是示出了根据本公开的示例实施例的示例性样本基质校准曲线的表。图1D是示出了根据本公开的示例实施例的具有各种样本基质的各种样本的示例性浓度确定的表。图2A是示出了根据本公开的示例实施例的远程采样系统中使用的远程采样设备的环境视图。图2B是示出了根据本公开的示例实施例的在远程采样系统中使用的远程采样设备的环境视图。图3A是示出了根据本公开的示例实施例的分析系统中使用的分析设备的环境视图。图3B是示出了根据本公开的示例实施例的分析系统中使用的分析设备的环境视图。图4是示出了根据本公开的示例实施例的系统内的分析系统的部分线图,该系统被配置为分析通过长距离传输的样本。图5是示出了根据本公开的示例实施例的可以在图4所示的分析系统中使用的检测器的部分线图。图6是示出了根据本公开的示例实施例的分析系统的环境视图,该分析系统具有多个分析设备以分析从远程采样系统接收的样本。图7是根据本公开的示例实施例的包括样本接收线和检测器的系统的示意图,该样本接收线和检测器被配置为确定样本接收线何时在检测器之间包含连续液体区段。图8是根据本公开的示例实施例的包含由远程采样系统获得的样本的多个区段的样本传输线的局部剖视图。图9是示出了根据本公开的示例实施例的供应到样本接收线并由两个检测器配准的多个液体样本区段的时间线。图10是示出了根据本公开的示例实施例的用于确定样本接收线何时在检测器之间包含连续液体区段的方法的流程图。图11是根据本公开的示例实施例的用于基于化学检测限制来监视和控制过程操作的控制系统的过程流程图。图12是根据本公开的示例实施例的并入多个远程采样系统的处理设施的示意图。图13是示出了化学浴随时间的金属污染的图表,其中数据点表示使用根据本公开的示例实施例的自动系统获得的手动采样和数据点。具体实施方式概述当电感耦合等离子体分析仪器处理样本或标准时,仪器通常输出测量样本的强度,其中强度与样本中存在的原子或离子的数量有关。例如,对于ICP-MS,具有特定电荷质量比的离子被传递到检测器,该检测器测量具有一强度的脉冲,所述强度与具有原始样本中存在的电荷质量比的化学元素的浓度相关,而对于ICP-AES,强度与从热源例如,火焰、等离子体等发射的特定波长的光强度有关。将来自样本的测量强度与来自具有已知浓度的标准溶液的标准曲线例如,使强度和浓度相关的校准曲线进行比较,以确定提供测量强度的化学元素的浓度。标准曲线通常为具有与标准相同的样本基质组成的样本提供精确的校准曲线。例如,针对去离子DI水中的标准铜浓度开发的校准曲线将是用于测试去离子水中未知成分的样本是否包括铜以及何种浓度的有效标准。然而,DI水标准中的铜通常不是用于测试不同样本基质例如,酸、有机溶剂等中的铜的有效标准。相反,将生成另一种标准以测量合适基质例如,酸、有机溶剂等中存在的铜的强度。因此,实验室设置可以提供用于测试具有多个样本基质的样本的以下情况:首先,通过ICP分析仪器测试具有已知浓度的第一基质中感兴趣的化学物质的标准例如,去离子水的铜标准以提供第一基质中化学物质的校准曲线。接下来,通过ICP分析仪器处理第一基质例如DI水中的所有样本,以提供第一基质中的化学物质的强度,以与第一校准曲线进行比较。接下来,通过ICP分析仪器例如异丙醇中的铜标准测试具有已知浓度的第二基质中感兴趣的化学物质的标准,以提供第二基质中化学物质的第二校准曲线。接下来,通过ICP分析仪器处理第二基质例如,异丙醇中的所有样本,以提供第二基质中的化学物质的强度,以与第二校准曲线进行比较。对于每个后续样本基质,该过程将继续。这样的过程可适用于实验室环境,其中样本和类型的流入可以是相对可预测的,并且其中通常分批一起分析相同的样本基质。然而,这些方法不适用于具有高样本周转率的现场分析测试,其中可能在不可预测的时间或在可预测的时间接收具有各种样本基质的样本,但该样本仍然具有测试所需的不同基质。在一个方面,本公开提供了用于在分析具有连续的多个样本基质的样本时校准电感耦合等离子体分析仪器例如,ICP-MS、ICP-AES等的系统和方法。例如,系统实施例可以包括具有多个远程采样设备的远程采样系统,以获得多个样本例如,具有多个样本基质并将样本从远程采样系统发送到分析系统,所述分析系统具有ICP分析仪器以测量样本中存在的感兴趣的化学物质的强度。通过ICP分析仪器分析已知浓度的第一基质中感兴趣的化学物质的标准溶液,生成标准校准曲线。例如,可以根据多种已知的稀释因子来稀释标准溶液以获得已知浓度的感兴趣的化学物质以建立校准曲线例如,基于强度对浓度图。针对预期待分析的样本中存在的每个样本基质生成标准校准曲线。例如,如果要分析具有异丙醇、氨溶液、氢氟酸和过氧化物基质的样本,则生成针对对异丙醇、氨溶液、氢氟酸和过氧化物即,生成每个基质感兴趣的化学物质的单独校准曲线。可以通过ICP分析仪器分析来自具有不同样本基质的多个远程采样系统的样本,以生成每个样本中感兴趣的化学物质的强度。基于漂移衰减,校正因子应用于所有其他基质校准曲线,因为所有其他校准曲线随时间变化,与测量标准的衰减变化成比例。每个样本基质的校正因子可以是主标准基质校准曲线例如,DI水校准曲线与相应的次标准基质校准曲线之间的比率。例如,系统将次基质校准曲线与主标准基质校准曲线如何随时间变化进行比较。为了解释ICP分析仪器漂移或ICP分析仪器分析样本如何随时间的变化,分析具有已知浓度的标准并与其各自的标准校准曲线进行比较,以确定结果是否在预期结果的阈值范围内例如,基于先前的校准曲线。超出预期范围的结果可以以信号的形式发送漂移衰减。该标准可以是预期对ICP分析仪器中任何漂移衰减响应最大的样本基质,或者可以是具有不同基质的标准组合。当结果超出预期范围时,系统可以通过分析一组新标准来自动生成新的校准曲线。以下讨论示例实现。示例实现总体上参照图1A至图13,描述了被配置为分析通过长距离传输的样本的示例系统。在示例实施例中,样本在一个或多个远程采样系统和远离远程采样系统定位的分析系统之间传输。系统100包括位于第一位置的分析系统102。系统100还可以包括在远离第一位置的第二位置处的一个或多个远程采样系统104。例如,一个或多个远程采样系统104可以定位在化学品源例如,化学品储存罐、化学处理罐例如,化学浴、化学品传输管线或管道等例如,第二位置附近,以由分析系统102进行分析,其中分析系统102可以远离远程采样系统104定位,例如用于生产设施例如,第一位置的分析中心。系统100还可以包括在第三位置、第四位置等处的一个或多个远程采样系统104,其中第三位置和或第四位置远离第一位置。在实现中,远程采样系统104的第三位置、第四位置和其他位置可以远离其他远程采样系统104的相应其他位置。例如,一个远程采样系统104可以位于水线处例如,去离子水传输管线,而一个或多个其他远程采样系统104可以定位在化学储罐、化学处理罐例如化学浴、化学传输管线或管道等处。在一些实施例中,系统100还可以包括在第一位置处的一个或多个远程采样系统104例如,靠近分析系统102。例如,第一位置处的采样系统104可以包括与分析系统102耦合的自动采样器。一个或多个采样系统104可以操作用于从第一位置、第二位置、第三位置、第四位置等等接收采样,并且系统100可操作用于将样本传送到分析系统102进行分析。远程采样系统104可以被配置为接收样本150并准备样本150以用于传送例如,到分析系统102和或分析。在实施例中,远程采样系统104可以设置在距分析系统102不同的距离处例如,1米、5米、10米、30米、50米、100米、300米、1000米等。在实现中,远程采样系统104可包括远程采样设备106和样本制备设备108。样本制备设备108还可包括阀148,例如流通阀。在实现中,远程采样设备106可包括被配置用于从样本流或源例如,诸如废水、冲洗水、化学品、工业化学品等液体,气体,诸如其中与液体接触的空气样本和污染物等收集样本150的设备。远程采样设备106可包括诸如泵、阀、管道、传感器等的部件,其适于从样本源获取样本并将样本在一定距离上传送到分析系统102。样本制备设备108可以包括如下设备,所述设备被配置为使用稀释剂114、内部标准116、载体154等制备来自远程采样设备106的收集的样本150,以便提供特定的样本浓度、加标样本、校准曲线等,并可用冲洗溶液158冲洗。在一些实施例中,可以使用一种或多种制备技术来制备样本150例如,制备的样本152用于传送和或分析,所述一种或多种制备技术包括但不必限于:稀释、预浓缩、添加一个或多个校准标准,等等。例如,粘性样本150可以在被传送到分析系统102之前被远程稀释例如,通过样本制备设备108例如,以防止样本150在传送期间分离。如本文所述,已经从远程采样系统104递送的样本可以被称为样本150,其中样本150也可以指制备的样本152。在一些实施例中,可以动态调节样本稀释例如,自动调节从而以期望的速率将样本150移动通过系统。例如,当样本150移动通过系统100太慢时例如,通过从第二位置到第一位置的递送时间测量,则添加到特定样本或特定类型样本的稀释剂114增加。在另一个示例中,可以在传送到分析系统102之前远程预浓缩一升1L海水。在另一个示例中,静电浓缩用于来自空气样本的材料以预浓缩可能的空气污染物。在一些实施例中,系统100自动执行在线稀释和或校准。例如,样本制备设备108可以将一种或多种内标添加到传送至分析系统102的样本中以校准分析系统102。在本公开的实施例中,系统100可以校准分析系统102的分析仪器例如,分析设备112,以便于分析具有连续的多个样本基质的样本。例如,分析系统102可以从多个远程采样系统104接收样本,其中样本可以具有相同或不同的样本基质。示例性样本基质包括但不限于去离子水、异丙醇、氨溶液、氢氟酸、盐酸、过氧化物、氟化铵、LAL化学品、DSP化学品、FND化学品及其组合。在实施例中,在图2的方法200示出的示例中,系统100确定用于单个样本基质的基质校准因子,以将样本基质与主样本基质相关联,以考虑分析设备112处随时间的漂移衰减。例如,系统100的控制器例如,参考图4描述的控制器118可以促进校准曲线的自动构建、校准因子的自动确定等。在一种实现中,方法200包括分析具有第一样本基质中存在的感兴趣的物质的第一标准溶液框202。例如,与分析系统102要处理的其他预期样本基质相比,第一样本基质可以是预期对分析设备112处的漂移中的任何衰减做出最大响应的样本基质。系统100可以控制引入第一标准溶液中的稀释剂的稀释因子,以在第一样本基质中提供多种浓度的感兴趣的物质例如,以便于建立校准曲线。方法200还包括确定是否期望由分析系统102从远程采样系统104接收与第一样本基质不同的样本基质框204。例如,如果第一标准溶液包括去离子水的第一样本基质,则系统100验证是否安排从一个或多个远程采样系统104发送另外的样本基质以及预期分析由样本基质系统102接收的样本基质是否与去离子水不同。如果系统100确定要涉及另外的样本基质,则方法200然后包括分析预期的每个样本基质的感兴趣的物质的标准溶液框206。例如,系统100可以控制引入到每种标准溶液的稀释剂的稀释因子,以在另外的样本基质中的每个中提供多种浓度的感兴趣的物质例如,以便于建立校准曲线。当不期望额外的样本基质时例如,分析设备112已经分析了每个样本基质的标准,系统100针对每个样本基质生成校准曲线方框208。例如,系统100的控制器例如,参考图4描述的控制器118可以基于分析设备112对每个样本基质的每个标准溶液的分析来针对每个样本基质建立校准曲线。方法200还包括将校准曲线中的一个指定为主校准曲线框210并将校准曲线剩余的部分指定为次校准曲线框212。主校准曲线可以用作用于确定框208中产生的用于其他校准曲线之间的灵敏度关系因子例如,基质校正因子的基础。因此,随着分析系统102随时间分析样本序列,基于具有与主校准曲线相关联的基质的样本的测量,用于灵敏度的关系因子可以应用于具有与次校准曲线相关联的基质的样本的测量。例如,方法200包括生成针对每条次校准曲线的基质校准因子MCF或Cm框214。针对校准曲线,通过等式1来确定感兴趣的特定物质的浓度:y=mx+b1其中,y表示在给定样本基质中的所述感兴趣物质的强度,m表示所述给定样本基质的斜率,x表示在所述给定样本基质中的所述感兴趣物质的浓度,并且b表示所述给定样本基质的y截距。这样,在所述给定样本基质中的所述感兴趣物质的浓度能够通过等式2来确定:针对每条次曲线的基质校准因子Cm能够通过每条次曲线与主曲线之间的斜率的关系来表达,如通过等式3所确定的:因此,次校准曲线的斜率能够通过等式4与主曲线的斜率相关:斜率次=Cm斜率主4在确定针对特定次校准曲线和相关联的样本基质的基质校正因子后,方法200包括:利用分析设备112来分析样本,并且根据每个样本的相应样本基质而将所述基质校正因子应用于样本框216。例如,当分析设备212确定样本溶液中的物质的强度时,针对该物质的样本基质的校准曲线能够用于计算所述样本溶液中的物质的浓度,其中,所述基质校准因子被用于使用最近的主校准曲线信息来更新次校准曲线计算。例如,针对与次校准曲线相关联的样本基质中存在的样本的浓度能够通过等式5来确定:因此,在分析系统102处理随时间从各种远程采样系统104接收到的样本时,能够将与次校准曲线相关联的样本基质中的样本与最近的主校准曲线进行比较。因此,由于针对主与次之间的灵敏度的关系因子在系统100的操作期间是基本恒定的,基质校正因子调节能够用于基于最近的主校准曲线而准确地确定第二样本基质中的样本的样本浓度,而不是重新运行针对每条次校准曲线的校准曲线。这样,系统100不需要运行附加的次校准曲线的潜在大量时间保证。替代地,每当需要经更新的校准时,系统100就能够运行另一主校准曲线以提供更新近的校准曲线。然后,根据针对每个样本基质的先前确定的基质校正因子,所述次校准曲线能够与经更新的主校准曲线相关。参见图1C,示出了示例性校准表,其中,表示了九条示例性样本基质校准曲线一条用于主校准曲线,并且八条用于次校准曲线。每条校准曲线包括描述即,涉及哪个样本基质、根据上文的等式3计算的基质校正因子Cm以及针对校准曲线的y-截距。如所看到的,主primary或“总main”校准曲线具有基质校正因子1即,针对所述主校准曲线没有校正,因为该曲线是比较基础的。参见图1D,所述基质校正因子被示为被应用于由分析系统102测量的示例样本。根据与该样本相关联的样本基质例如,标准溶液、异丙醇、铵溶液、LAL、氢氟酸等来识别每个样本,其中,每个样本具有由分析设备112测量的相对应的强度。此外,每个样本包括根据上文的等式5而计算的浓度。例如,能够基于所分配的样本基质例如,图1D中的第三列来确定针对每个样本的基质校正因子。在实施例中,质量检查样本由系统100来处理例如,在图1D中被标记为“QC”框218。所述质量检查样本能够是在给定样本基质例如,主样本基质、另一样本基质或者其组合中的已知浓度的标准溶液,以检查由分析设备112确定的浓度是否在预期浓度的阈值范围之内。在示例性实施方式中,所述阈值范围是预期浓度值例如,标准浓度值的5%之内的浓度值。如果所述质量检查样本的浓度在所述阈值范围之内,则系统100能够继续保证校准曲线仍然是准确的。如果所述质量检查样本的浓度在所述阈值范围之外,则系统100能够运行附加的标准溶液以构建另一主校准曲线,以将样本浓度与当前系统操作状况进行比较框220。能够根据相应的基质校正因子继续针对所述主校准曲线来测量第二校准曲线,而无需针对所述次校准曲线中的每条次校准曲线来重新运行校准曲线。在一种实施方式中,当质量检查样本在所述阈值范围之外时,系统100的控制器例如,控制器118自动地发起经更新的主校准曲线的生成。在本公开的实施例中,分析系统102能够包括样本收集器110和或样本检测器130,其被配置为从被耦合在分析系统102与一个或多个远程采样系统104之间的样本传输管线144收集样本150。样本收集器110和或样本检测器130能够包括组件,诸如泵、阀、管、端口、传感器等,以从远程采样系统104中的一个或多个远程采样系统接收样本150例如,经由一个或更多样本传输管线144。例如,在系统100包括多个远程采样系统104的情况下,每个远程采样系统能够包括专用样本传输管线144,以耦合到样本收集器110的单独部分或者耦合到分析系统102的单独样本收集器110。另外,分析系统102可以包括采样设备160,其被配置为收集分析系统102本地的样本150例如,本地自动采样器。分析系统102还包括至少一个分析设备112,其被配置为分析样本以确定微量元素浓度、同位素比率等例如,在液体样本中。例如,分析设备112能够包括ICP光谱测定仪器,包括,但不限于:电感耦合等离子体质谱仪ICPICP-MS、电感耦合等离子体原子发射光谱仪ICP-AES等。在实施例中,分析系统102包括多个分析设备112即,多于一个分析设备。例如,系统100和或分析系统102可以包括多个采样循环,其中,每个采样循环将样本的部分引入到多个分析设备112。作为另一示例,系统100和或分析系统102能够被配置有多点阀,使得单个样本能够被快速并且连续地引入到多个分析设备112。例如,图6示出了与分析系统102液体连通的一个远程采样系统104,其中,分析系统102包括与三个分析设备被示为ICPMS602、离子色谱仪IC柱604和傅里叶变换红外光谱仪FTIR606耦合的多点阀600,用于分析从远程采样系统104接收的样本。尽管图6示出了分析系统102包括三个分析设备的实施例,但是分析系统102能够包括更少例如,少于三个或更多例如,多于三个分析设备112。在实施例中,分析设备112能够包括,但不限于:ICPMS例如,用于微量金属测定、ICPOES例如,用于微量金属测定、离子色谱仪例如,用于阴离子和阳离子测定、液相色谱仪LC例如,用于有机污染物测定、FTIR红外例如,用于化学组成和结构信息测定、颗粒计数器例如,用于检测未溶解的颗粒、水分分析仪例如,用于检测样本中的水、气相色谱仪GC例如,用于检测挥发性组分等。在实施例中,多个分析设备112能够位于与远程采样设备104相同的位置处,而系统100能够包括远离所述远程采样系统104定位的一个或多个附加分析设备112,以用于额外的或不同的样本分析。而不是由多个分析设备112执行的那些分析。备选地或另外地,多个分析设备112能够位于与远程采样系统104不同的位置处。系统100和或分析系统102能够被配置为报告随时间在一位置处的分析物浓度下文参考图13进一步示出的。在一些实施例中,分析设备112可以被配置为检测样本150中的一种或多种微量金属。在其他实施例中,分析设备112可以被配置用于离子色谱法。例如,阴离子和或阳离子能够被收集在样本150中并且被传送到色谱分析设备112。在另外的实施例中,有机分子、蛋白质等能够被收集在样本中并且被传送至高分辨率飞行时间HR-ToF质谱仪分析设备112例如,使用喷雾器156。因此,在本文中所描述的系统能够用于各种应用,包括,但不限于:药物应用例如,具有被连接到多个药物反应器的中心质谱分析设备、一个或多个废物流的废物监测、半导体制造设施等。例如,可以针对污染物而连续地监测废物流,并且当检测到污染物时将废物流转移到罐中。作为另一示例,能够经由分析由被链接到分析系统102的远程采样系统104中的一个或多个远程采样系统获得的样本来连续地监测一个或多个化学流,由此,能够针对所述化学流中的每个化学流来设置污染限值。在检测到污染物超过针对特定流的污染限值时,系统100能够提供警报。远程采样系统104能够被配置为选择性地与至少一个样本传输管线144耦合,使得远程采样系统104能操作用于与样本传输管线144液体连通,以供应连续液体样本区段150到样本传输管线144。例如,远程采样系统104可以被配置为收集样本150并且使用例如流通阀148将样本150供应到样本传输管线144,所述流通阀148将远程采样系统104耦合到样本传输管线144。将样本150供应到样本传输管线144能够被称为“投掷pitch”。样本传输管线144能够与气体供应源146耦合,并且能够被配置为将气体从第二位置并且可能还有第三位置、第四位置等传输到第一位置。以这种方式,由远程采样系统104供应的液体样本区段在气流中被收集,并且使用气体压力样本传输被传输到分析系统102的位置。在一些实施例中,样本传输管线144中的气体能够包括惰性气体,包括,但不必限于:氮气、氩气等。在一些实施例中,样本传输管线144可以包括未分段或最小分段的管,其内径为十分之八毫米0.8mm。然而,十分之八毫米的内径是仅作为示例来提供的,并且并不意味着限制本公开。在其他实施例中,样本传输管线144可以包括大于十分之八毫米的内径和或小于十分之八毫米的内径。在一些实施例中,样本传输管线144中的压力的范围能够为至少为约四4bar至十10bar。然而,该范围是仅作为示例来提供的,并且并不意味着限制本公开。在其他实施例中,样本传输管线144中的压力可以大于十bar和或小于四bar。此外,在一些具体实施例中,可以调节样本传输管线144中的压力,使得样本150以大致向上的方向例如,垂直地来分配。这样的垂直取向能够促进在低于分析系统102的位置处收集的样本的传输例如,一个或多个样本源和一个或多个远程采样系统相对于分析系统102位于“楼下”。在一些示例中,样本传输管线144能够与远程采样系统104和分析系统102耦合,远程采样系统104与第一液体浴或化学浴液体连通,并且分析系统102与第二液体浴或化学浴液体连通。在本公开的实施例中,系统100可以包括一个或多个泄漏传感器例如,被安装在槽中以防止或最小化在第一位置和或一个或多个远程位置例如,第二位置、第三位置、第四位置等处的溢出。诸如注射泵或真空泵的泵可以被用于将样本加载到采样设备106中。阀148可以被用于选择在远程采样系统104处的样本150,并且样本150能够被供应到样本传输管线144,样本传输管线144能够在第一位置处将样本150传送到分析系统102。另一泵,诸如隔膜泵,可以被用于泵送分析系统102上的排出口并且从样本传输管线144抽出样本150。系统100能够被实施为封闭的采样系统,其中,样本传输管线144中的气体和样本不被暴露于周围环境。例如,壳体和或护套能够包围系统100的一个或多个部件。在一些实施例中,可以在样本传送之间清洁远程采样系统104的一个或多个采样管线。此外,可以在样本150之间清洁样本传输管线144例如,使用清洁溶液。样本传输管线144能够被配置为在第一位置处选择性地与样本接收管线162例如,样本环164耦合,使得样本环164能操作用于与样本传输管线144液体连通以接收连续液体样本区段。将所述连续液体样本区段传送到样本环164能够被称为“捕获catch”。样本环164还被配置为选择性地与分析设备112耦合,使得样本环164能操作用于与分析设备112液体连通,以将连续液体样本区段供应到分析设备112例如,当系统100已经确定了足够的液体样本区段可供分析系统102分析时。在本公开的实施例中,分析系统102能够包括一个或多个检测器,其被配置为确定样本环164包含足够量的连续液体样本区段以供分析系统102分析。在一个示例中,足够量的连续液体样本能够包括足够的液体样本以发送到分析设备112。足够量的连续液体样本的另一示例能够包括在第一检测器126与第二检测器128之间的样本接收管线162中的连续液体样本例如,如在图7中所示的。在实施方式中,第一检测器126和或第二检测器128可以包括光分析器132、光学传感器134、电导率传感器136、金属传感器138、传导传感器140和或压力传感器142。设想到了第一检测器126和或第二检测器128可以包括其他传感器。例如,第一检测器126可以包括光分析器132,其检测样本150何时进入样本环164,并且第二检测器128可以包括另一个光分析器132,其检测样本环164何时被填充。该示例能够被称为“成功捕获”。应当注意,光分析器132是仅作为示例来提供的,并且并不意味着限制本公开。其他示例性检测器包括,但不必限于:光学传感器、电导率传感器、金属传感器、传导传感器、压力传感器等。参见图7,描述了系统100,其能够确定连续液体样本区段何时被包含在样本接收管线162中和或样本环164何时包含足够量的连续液体样本区段以供分析例如,通过分析系统102。在示例性实施例中,第一检测器126能够被配置为确定两个或更多个状态,其能够表示在样本接收管线162中的第一位置处的液体例如,液体样本区段的存在、在样本接收管线162中的第一位置处的液体的不存在等。例如,第一状态例如,由第一逻辑电平表示,诸如高状态能够用于表示在样本接收管线162中的第一位置处例如,接近于第一检测器126存在液体样本区段,并且第二状态例如,由第二逻辑电平表示,诸如低状态能够用于表示在样本接收管线162中的第一位置处不存在液体样本区段例如,样本接收管线162中的空隙或气体。在一些实施例中,包括压力传感器142的第一检测器126能够用于检测在样本接收管线162中的第一位置处的液体的存在例如,通过检测当液体存在时样本接收管线162中接近于第一个位置的压力的增加。第一检测器126还能够用于检测在样本接收管线162中的第一位置处的液体的不存在例如,通过检测样本接收管线162中接近于第一位置的压力的降低。然而,压力传感器是作为示例来提供的,并且并不意味着限制本公开。在其他实施例中,第一检测器126包括光学传感器134,所述光学传感器134能够用于检测在样本接收管线162中的第一位置处的液体的存在例如,通过检测当液体存在时穿过样本接收管线162的接近于第一个位置的光的减少。第一检测器126还能够用于检测在样本接收管线162中的第一位置处的液体的不存在例如,通过检测穿过样本接收管线162的接近于第一位置的光的增加。在这些示例中,第一检测器126能够将第一位置处的液体样本的存在报告为高状态,并且能够将第一位置处的液体样本的不存在报告为低状态。在一些实施例中,系统100还可以包括一个或多个附加检测器,诸如第二检测器126、第三检测器等。例如,第二检测器126还能够被配置为确定两个或更多个状态,其能够表示样本接收管线162中的第二位置处的液体例如,液体样本区段的存在、样本接收管线162中的第二位置处的液体不存在等。例如,第一状态例如,由第一逻辑电平表示,诸如高状态能够用于表示在样本接收管线162中的第二位置处例如,接近于第二检测器126存在液体样本区段,并且第二状态例如,由第二逻辑电平表示,诸如低状态能够用于表示在样本接收管线162中的第二位置处不存在液体样本区段。在一些实施例中,第二检测器126包括压力传感器142,所述压力传感器142能够用于检测样本接收管线162中的第二位置处的液体的存在例如,通过检测当存在液体时样本接收管线162中接近于第二位置的压力的增加。第二检测器126还能够用于检测样本接收管线162中的第二位置处的液体的不存在例如,通过检测样本接收管线162中接近于第二位置的压力的降低。然而,压力传感器是作为示例来提供的,并且并不意味着限制本公开。在其他实施例中,第二检测器126包括,所述光学传感器134能够用于检测样本接收管线162中的第二位置处的液体的存在例如,通过检测当液体存在时穿过样本接收管线162的接近于第二个位置的光的减少。第二检测器126还能够用于检测样本接收管线162中的第二位置处的液体的不存在例如,通过检测穿过样本接收管线162的接近于第二位置的光的增加。在这些示例中,第二检测器126能够将第二位置处的液体样本的存在报告为高状态,并且能够将第二位置处的液体样本的不存在报告为低状态。控制器118能够与一个或多个检测器126通信地耦合,并且被配置为记录样本接收管线162中的第一位置处、样本接收管线162中的第二位置处、样本接收管线162中的另一位置处等的液体。例如,控制器118使用第一检测器126发起检测操作,并且样本接收管线162中的第一位置处的液体能够由控制器118记录例如,当控制器118记录到由第一检测器126确定的从低到高的状态变化时。然后,可以监测第一检测器126例如,连续地、至少基本连续地,并且控制器118能够随后记录在样本接收管线162中的第一位置处的液体的不存在例如,当控制器118记录到由第一检测器126确定的从高到低的状态变化时。类似地,控制器118还能够使用第二检测器126来启动检测操作,并且控制器118能够记录样本接收管线162中的第二位置处的液体例如,当控制器118记录由第二检测器126确定的从低到高的状态变化时。然后,可以监测第二检测器126例如连续地、至少基本上连续地,并且控制器118随后能够记录样本接收管线162中的第二位置处不存在液体例如,当控制器118记录由第二检测器126确定的从高到低的状态变化时。控制器118和或一个或多个检测器126能够包括或影响定时器的操作,所述定时器的操作用于提供针对系统100的某些事件的定时例如,在特定时间时在样本接收管线162中的多个位置处存在或不存在液体。作为示例,控制器118能够监测由各种检测器记录的状态变化的时间,以便确定是否允许液体样本被引导到分析系统102例如,与引导液体到废料池或保持回路相反。作为另一示例,控制器118能够基于由控制器118经由一个或多个检测器126记录的状态变化来监测液体在样本接收管线162和或样本回路164中花费的时间。液体样本区段中断和合适液体区段的确定通常,当在相关联的分析设备例如,分析设备旁边的自动取样器附近获得样本时,样本能够跨越样本源与分析设备之间的整个距离,而不需要大量样本量。然而,对于样本的长距离传输,例如由于处理未使用的样本部分所涉及的环境问题、样本的粘度等,在远程取样系统104与分析系统102之间的整条传输管线144例如,高达数百米的样本长度中填充样本可能是禁止的或不希望的。因此,在实施例中,远程采样系统104不将样本填充到整条传输管线144中,而是通过传输管线144发送代表总传输管线144体积的一部分的液体样本区段以供分析系统102分析。例如,虽然传输管线144能够长达数百米,但是在传送到分析系统102期间的任何给定时间,样本能够占据传输管线144的大约一米或更少长度。虽然通过管线发送液体样本区段能够减少从远程样本系统104发送的样本量,但是样本在被传送到分析系统102期间会在样本传输管线144中产生气泡或间隙空隙。这种气泡或间隙空隙可能是由于以下原因形成的:与样本长距离传输相关联的环境例如,在传送期间管道之间的孔的变化、与用于清洁样本之间的管线的残留清洁液体的相互作用、与管线中的残留液体的反应、沿着传输管线的跨度的一个或多个压差等。例如,如图8所示,能够将液体样本800从远程采样系统104通过传输管线144发送到分析系统102所在的第一位置。由远程采样系统104获得的总样本的体积由图8中的VTOT表示。如图所示,在从远程采样系统104传送期间,会在传输管线144中形成间隙或空隙802。间隙或空隙802对许多样本区段804进行分区,这些样本区段804并不包含供分析系统102分析的足够数量或体积的样本。这样的样本区段804能够在具有足以供分析系统102分析的体积被示为VSAMPLE的较大的样本区段806之前和或之后。在实施例中,调节由远程采样系统104收集的样本量例如,VTOT以提供足够量的样本150供分析设备112分析。例如,“投掷”样本150的量与“捕获”样本150的量的体积比率例如,VTOTVSAMPLE至少约为141.25。然而,该比率仅作为示例提供,并不意味着限制本公开内容。在一些实施例中,该比率大于54,并且在其他实施例中,该比率小于54。在一个示例中,投掷2.5毫升的样本150例如,浓硫酸或硝酸,并且捕获一毫升1毫升的样本150。在另一示例中,投掷1.5毫升的样本150,并且捕获1毫升的样本150。在本公开内容的实施例中,调节“投掷的”样本150的量以考虑第一位置与第二位置之间的距离、第一位置与第二位置之间管路连通的样本传输管线的量、样本传输管线144中的压力等。通常,VTOTVSAMPLE的比率能够大于1,以考虑在传输期间样本传输管线144中的间隙空隙802和样本区段804的形成。系统100能够选择多个远程采样系统104中的哪个应当将其各自的样本发送到分析系统102例如,“投掷”,由此检测器126有助于确定是否存在足够的样本例如,样本回路164中的VSAMPLE以发送到分析系统102例如,“捕获”,或者在管线中例如,在检测器126之间是否存在空隙或间隙,使得样本不应在那个特定时间被发送到分析系统102。如果气泡或间隙存在例如,在样本回路164中,则它们的存在会损害样本分析的准确性,特别是如果在将样本引入分析设备112之前在分析系统102处稀释或进一步稀释样本时尤为如此,因为分析设备112会分析“空白”溶液。在一些实施例中,系统100能够被配置为确定在样本接收管线162和或样本回路164中何时包含连续液体样本区段例如,样本区段806,使得系统100能够避免将间隙或空隙802或较小的样本区段804传输到分析设备112。例如,系统100能够包括位于沿着样本接收管线162的第一位置处的第一检测器126以及位于沿着样本接收管线162的第二位置处例如在第一位置下游的第二检测器126。系统100还可以包括在第一检测器126与第二检测器126之间的样本回路164。在实施例中,阀能够被定位在第一检测器126与样本回路164之间以及第二检测器126与样本回路164之间,所述阀例如为能在至少两个流动路径配置例如,图3A中示出的阀148的第一流动路径配置;图3A中示出的阀148的第二流动路径配置3B等之间切换的多点阀。在本公开内容的实施例中,系统100能够通过在第一位置和第二位置同时记录液体,同时经由第一位置处的第一检测器126没有记录到从高到低的状态变化来确定在样本接收管线162和或样本回路164中包含连续液体样本区段。换句话说,已经将液体样本从第一检测器126连续地传输到第二检测器126,而在第二检测器126识别出存在液体样本之前,第一检测器126未检测到状态变化。在使用两个或更多个检测器来确定样本接收管线何时包含检测器之间的连续液体区段的示例实施方式中,在样本接收管线中接收液体区段。例如,参考图7,样本接收管线162接收液体样本区段。然后,通过使用第一检测器来启动检测操作,记录在样本接收管线中的第一位置处的液体区段,该第一检测器被配置为检测样本接收管线中的第一位置处液体区段的存在和或不存在。例如,参考图7,第一检测器126将样本接收管线162中的第一位置处的液体样本区段检测为从低到高的状态变化。参考图9,能够在时间t1和t5时在第一位置处检测到液体样本区段。然后,在记录第一位置处的液体区段之后,监测第一检测器。例如,参考图7,第一检测器126由控制器118监测,并且第一检测器126将在样本接收管线162中的第一位置处不存在液体样本区段检测为从高到低的状态变化。参考图9,从时间t1和t5时开始例如连续地、至少基本上连续地监测第一位置,并且在时间t3和t6时能够在第一位置处检测到不存在液体样本区段。类似地,通过使用第二检测器来启动检测操作,记录在样本接收管线中的第二位置处的液体样本区段,该第二检测器被配置为检测样本接收管线中的第二位置处的液体区段的存在和或不存在。例如,参考图7,第二检测器126将样本接收管线162中的第二位置处的液体样本区段检测为从低到高的状态变化。参考图9,能够在时间t2和t7时在第二位置处检测到液体样本区段。然后,在记录第二位置处的液体区段之后,监测第二检测器。例如,参考图7,第二检测器126由控制器118监测,并且第二检测器126将在样本接收管线162中的第二位置处不存在液体样本区段检测为从高到低的状态变化。参考图9,从时间t2和t7时开始例如连续地、至少基本上连续地监测第二位置,并且在时刻t4和t8时能够在第二位置处检测到不存在液体样本区段。当同时记录在第一位置和第二位置处的液体时,在第一检测器与第二检测器之间的样本接收管线上记录连续的液体区段。例如,参考图7,当高状态表示在第一检测器126和第二检测器126中的每个处都存在液体样本区段时,控制器118记录在样本接收管线162中的连续的液体样本区段例如,在第一检测器126和第二检测器126之间存在液体样本区段。参考图9,当在第二位置处检测到液体样本区段时,能够在时间t2时记录连续的液体样本区段。在一些实施例中,逻辑AND操作能够用于确定何时在样本接收管线中记录连续液体区段,并且启动连续液体区段从样本接收管线到分析仪器的传输。例如,参考图7,控制器118能够在第一检测器126和第二检测器126中的每个处对高状态使用逻辑AND操作,并且使用阀148启动样本回路164与分析设备112的选择性耦合,使得样本回路164可操作用于与分析设备112液体连通,以将连续液体样本区段供应给分析设备112。在一些实施例中,当在第一检测器126或第二检测器126处记录从低到高的状态变化时,控制器118可以仅确定是否切换阀148以将连续的液体样本区段供应到分析设备112。在一些实施例中,在启动样本回路164与分析设备的选择性耦合之前,系统100要求第二检测器126处的高状态维持一段时间例如,图9中示出的tΔ。例如,控制器118和或处理器120的定时器或定时功能能够验证第二检测器126保持高状态的时间段,由此一旦第二检测器126在持续时间tΔ例如,阈值时间内保持高状态并且其中第一检测器处于高状态,控制器118就能够确定已经捕获到足够的液体样本区段例如,图8中的段806,并且能够切换阀148以将连续的液体样本区段供应到分析设备112。tΔ的持续时间能够对应于除去第二检测器不太可能测量空隙或气泡的时间段之外的时间段,该时间段能够取决于样本的流速或其他传输条件而变化。在一些实施例中,控制器118能够监测第一检测器126处于高状态和或低状态的定时。例如,在从远程采样系统104传输的样本的流动特性已知的实施例中,能够监测第一检测器126以确定在高状态下花费的时间长度,以近似在样本接收管线162和或样本回路164中是否存在足够的液体样本,从而使得控制器118将样本发送到分析设备112,无论在第二检测器126处是否确认出高状态与否都是如此。例如,对于给定的样本流速,能够通过监测第一检测器126处于高状态的时间长度来近似样本的体积。然而,由于泵功能性中的波动、传输的样本类型、样本粘度、传输持续时间、传输距离、环境温度条件、传输管线144温度条件等,样本流速可能不太明显,因此第二检测器126的功能是可提供信息的。在本公开内容的实施例中,本文描述的系统和技术能够用于确定第一检测器126与第二检测器126之间的样本接收管线例如,样本回路的部分被填充而不存在气泡。例如,在时间t3与t5之间在第一位置处没有液体样本如参考图9所描述的可以对应于样本接收管线162中存在气泡。当系统100已经达到样本接收管线162中不存在气泡的条件时,控制器118切换阀148以允许样本回路164中的液体流向分析设备112以供分析或分析前的样本调控。示例方法图10描绘了示例实施方式中的过程810,其中,两个检测器用于确定样本接收管线何时包括连续液体样本区段中的足够量的样本以供分析系统分析,在连续液体样本区段中没有间隙或空隙。如图所示,在样本接收管线中接收液体区段框812。例如,样本接收管线162能够接收由远程采样系统104获得的并通过传输管线144传输的样本。过程810还包括利用第一监测器记录样本接收管线中的第一位置处的液体区段,该第一检测器被配置为当液体区段经过第一位置时检测液体区段的存在和或不存在框814。例如,第一检测器126能够测量样本接收管线162中的第一位置处的液体样本区段的存在。参考图9,在时间t1和t5时在第一位置处检测到液体样本区段。接下来,在记录第一位置处的液体区段之后,监测第一检测器框816。例如,第一检测器126能够由控制器118来监测,以确定在样本接收管线162中的第一位置处是否不存在液体区段例如,第一检测器126是否已经从指示检测到样本液体的高状态转变到其中没有检测到样本液体的低状态。参考图9,从时间t1和t5时开始例如连续地、至少基本上连续地监测第一位置。然后,在通过使用第二检测器执行检测操作而在第一位置下游的样本接收管线中的第二位置处记录液体区段之前,当在样本接收管线中的第一位置处没有记录液体区段的存在时,在样本接收管线中记录连续液体区段框818,所述第二检测器被配置为检测第二位置处液体区段的存在和或不存在。例如,参考图9,第一检测器126在时间t1和t5时检测到样本液体的存在,而第二检测器126在时间t2和t7时检测到样本液体的存在。只有在时间t1与t3之间由第二检测器记录到在第一检测器处的液体样本区段从时间t2开始,而第一检测器126在第二检测器检测到该样本区段之前的过渡时间内没有检测到不存在液体样本区段。此时,控制器118能够指示阀148切换以将样本回路164中包含的样本发送到分析设备112。当第一检测器126在t5时记录液体样本的存在时,在第二检测器126随后在t7时检测到液体样本的存在之前,第一检测器也在t6时检测到液体样本不存在。这样,系统100将认识到在样本回路164中存在间隙或空隙例如,间隙空隙802,并且不会切换阀148以进行分析,而不是允许不充分的样本区段例如,液体区段804流过而浪费。如本文所描述的,例如由控制器118实施的定时器能够用于在第一检测器126临时保持高状态之后在第二检测器126在一段时间例如,tΔ内保持高状态时使阀148进行切换。控制系统系统100包括其一些或全部部件能够在计算机控制下操作。例如,处理器120能够被包括在系统100内或系统100中,以使用软件、固件、硬件例如,固定逻辑电路、手动处理或其组合来控制本文描述的系统的部件和功能。本文中使用的术语“控制器”、“功能”、“服务”和“逻辑”通常表示与控制系统结合使用的软件、固件、硬件或软件、固件或硬件的组合。在软件实施方式的情况下,模块、功能或逻辑表示当在处理器例如,一个或多个中央处理单元CPU上被执行时执行指定任务的程序代码。程序代码能够被存储在一个或多个计算机可读存储设备例如,内部存储器和或一个或多个有形介质中等。本文中描述的结构、功能、方法和技术能够被实施在具有各种处理器的各种商业计算平台上。例如,系统的一个或多个部件例如,分析系统102、远程采样系统104、阀148、泵和或检测器例如,第一检测器126、第二检测器126、样本检测器130能够与控制器耦合以用于控制样本150的收集、传送和或分析。例如,控制器118能够被配置为当第一检测器126和第二检测器126指示成功的“捕获”时例如当两个传感器检测到液体时切换将样本回路164耦合到分析系统102的阀148并将样本150从样本回路164引导到分析系统102。此外,控制器118能够实施用于确定“不成功捕获”的功能例如当样本回路164没有填充足够的样本150以供分析系统102进行完整分析时。在一些实施例中,基于例如从诸如第一检测器126或第二检测器126的传感器接收的信号的信号强度的变化来确定“未成功捕获”。在其他实施例中,当第一检测器126已经指示样本接收管线162中的样本150并且第二检测器126没有指示样本接收管线162中的样本150已经过了预定量的时间时,确定“未成功捕获”。在一些实施例中,控制器118与远程位置例如,第二位置处的指示器通信性耦合,并且当在第一位置处接收到不足的样本150时在第二位置处提供指示例如,警报。该指示能够用于例如自动启动额外的样本收集和传送。在一些实施例中,指示器向操作者提供警报例如经由一个或多个指示灯、经由显示器读数、其组合等。另外,该指示能够基于一个或多个预定条件而得到定时和或启动例如仅当错过多个样本时。在一些实施例中,还能够基于在远程采样地点处测量的条件来激活指示器。例如,第二位置处的检测器130能够用于确定何时将样本150提供给远程采样系统104,并且当没有收集到样本150时,能够激活指示器。在一些实施例中,控制器118可操作用于为从不同的远程位置收集样本和或为不同类型的样本150提供不同的定时。例如,当远程采样系统104准备将样本150传输到样本传输管线144时,能够警告控制器118,并且能够启动样本150到样本传输管线144中的传输。控制器118还能够与一个或多个远程采样系统102通信性耦合,以接收并且可能登记记录与样本150相关联的识别信息,和或控制在系统100内传送样本150的顺序。例如,控制器118能够对多个样本150进行远程排队,并协调它们被传送通过样本传输管线144中的一条或多条。以这种方式,能够沿着多个同时的流动路径例如通过多个样本传输管线144来协调样本150的传输,能够在获取一个或多个额外的样本150的同时传输一个或多个样本150等。例如,图11示出了针对系统100的示例控制流程图,其中,分析系统102被示为经由两个远程采样系统104a和104b以及相关联的传输管线144a和144b与两个远程采样位置液体连通,所述两个远程采样位置被示为采样位置900和采样位置902。在所示的实施例中,分析系统102向远程采样系统104a和远程采样系统104b中的每个发送命令,分别被示为904a和904b。远程采样系统104a和远程采样系统104b中的每个分别经由传输管线144a和传输管线144b将在相应采样位置针对远程采样系统104a为采样位置900,针对远程采样系统104b为采样位置902处获得的样本传输到分析系统102。分析系统102然后处理样本以确定其中各种化学物质内容物的量。分析系统102随后处理样本以确定其中各种化学物质容器的量。分析系统102随后确定化学物质的量中的任意一个是否超过元素特定的限制例如,针对样本中的特定污染物的限制。在实施例中,系统100可以独立地针对每一个采样位置和独立地针对在每一个采样位置处的特定化学物质设置污染限制。例如,针对特定金属污染物的耐受性可能在处理期间降低,因此与针对上游采集的化学样本相比,下游化学样本可以具有针对特定化学物质的低的限制。如在图11中所示,分析系统102确定没有化学物质超过针对由远程采样系统104a在采样位置900处获得的样本的元素特定限制中的任意元素特定限制。分析系统102随后向CIM主机906发送指示,如908a所示,由于处理应用的操作低于元素特定的限制而准许在采样位置900处继续处理应用。分析系统102已经确定由远程采样系统104b在采样位置902处获得的样本中存在的化学物质中的至少一种化学物质超过元素特定的限制例如,针对在样本中污染物的限制。分析系统102随后向CIM主机906发送指示,如908b所示,由于过程应用的操作高于元素特定的限制而发送指向采样位置902处的过程应用的警报。CIM主机906随后基于对由在采样位置902处的远程采样系统104b获得的样本的分析经由停止处理命令910来指导在采样位置902处的处理以停止操作。在实施例中,可以通过SECSGEM协议来促进在CIM主机906与系统100的组件之间的通信。在实施例中,当确定元素高于针对特定样本位置的样本中的元素特定的限制时,系统100可以包括上下文特定的动作,其中这样的上下文特定的动作可以包括但不限于,忽略警报并且继续处理操作、停止处理操作、运行系统校准、以及随后重新运行超限样本等。例如,在第一警报时,分析系统102可以执行校准或另一校准以及随后重新运行样本,而后续警报例如,第二警报将使CIM主机906命令在违规的采样位置处的处理停止操作。控制器118可以包括处理器120、存储器122和通信接口124。处理器120提供针对控制器118的处理功能,并且可以包括任意数量的处理器、微控制器、或其它处理系统,以及用于存储由控制器118访问或生成的数据和其它信息的驻留存储器或外部存储器。处理器120可以执行实现本文中描述的技术的一个或多个软件程序。处理器120不受形成它的材料或其中采用的处理机制的限制,以及因此,可以是经由半导体和或晶体管例如,使用电子集成电路IC组件等来实现的。存储器122是有形的、计算机可读存储介质的示例,其提供存储功能以存储与控制器118的操作相关联的各种数据,诸如软件程序和或代码段,或指导处理器120以及可能地控制器118的其它组件以执行本文中描述的功能的其它数据。因此,存储器122可以存储数据,例如用于对系统100包括其组件进行操作的指令的程序等。应当注意的是,虽然描述了单个存储器,但是可以采用各种类型和组合例如,有形的、非暂时性存储器的存储器。存储器122可以是与处理器120集成的,可以包括独立存储器,或者可以是两者的组合。存储器122可以包括但不必限于:可移动和不可移动存储器组件,诸如随机存取存储器RAM、只读存储器ROM、闪存例如,安全数字SD存储卡、迷你SD存储卡和或微型SD存储卡、磁存储器、光存储器、通用串行总线USB存储器设备、硬盘存储器、外部存储器等。在实现方式中,系统100和或存储器122可以包括可移动集成电路卡ICC存储器,诸如由订户身份模块SIM卡、通用订户身份模块USIM卡、通用集成电路卡UICC提供的存储器122等。通信接口124被可操作地配置为与系统的组件通信。例如,通信接口124可以被配置为发送数据以存储在系统100中,从在系统100中的存储装置取回数据等。通信接口124还是与处理器120通信地耦合的,以促进在系统100的组件与处理器120之间的数据传送例如,用于将从与控制器118通信地耦合的设备接收的输入传送给处理器120。应当注意的是,虽然通信接口124被描述为控制器118的组件,但是通信接口124的一个或多个组件可以被实现为经由有线连接和或无线连接通信地耦合到系统100的外部组件。系统100还可以包括和或连接到一个或多个输入输出IO设备例如,经由通信接口124,所述一个或多个输入输出IO设备包括但不必限于:显示器、鼠标、触摸板、键盘等。通信接口124和或处理器120可以被配置为与各种不同的网络通信,所述各种不同的网络通信包括但不必限于:诸如3G蜂窝网、4G蜂窝网,或全球移动通信系统GSM网络的广域蜂窝电话网;诸如Wi-Fi网络例如,使用IEEE802.11网络标准进行操作的无线局域网WLAN的无线计算机通信网络;互联网;因特网;广域网WAN;局域网LAN;个域网PAN例如,使用IEEE802.15网络标准进行操作的无线个域网WPAN;公共电话网络;外联网;内联网等。然而,该列表仅通过示例的方式提供,以及不意味着限制本公开内容。进一步地,通信接口124可以被配置为跨越不同的接入点来与单个网络或多个网络通信。示例1─示例监测系统通常,本文中描述的系统100可以包含任意数量的远程采样系统104以从任意数量的采样位置采集样本。在一实现方式中,如在图12中所示,系统100包括位于利用化学浴、大量化学品、环境流出物和其它液体样本的处理设施的五个不同位置处的五个远程采样系统104示出为104A、104B、104C、104D、104E。远程采样系统104获取在不同位置处的样本以传送到远离五个远程采样系统104中的每一个远程采样系统104定位的分析系统102。第一远程采样系统104A位于去离子水管道1000附近,以及与分析系统102以近似四十米40m的距离示出为d5间隔。第二远程采样系统104B位于分配阀点1002附近,以及与分析系统102以近似八十米80m的距离示出为d4间隔。第三远程采样系统104C位于化学物质供应罐1004附近,以及与分析系统102以近似八十米80m的距离示出为d3间隔。化学物质供应罐1004远离化学品储存罐1008定位,并且被供应有来自化学品储存罐1008的化学品。第四远程采样系统104D定位在化学品供应罐1006附近,以及与分析系统102以近似八十米80m的距离显示为d2间隔。化学物质供应罐1006远离化学品储存罐1008定位,并且被供应有来自化学品储存罐1008的化学品。第五远程采样系统104E位于化学品储存罐1004附近,以及与分析系统102以近似三百米300m的距离示出为d1间隔。虽然示出了五个远程采样系统104,但是系统100可以利用多于五个远程采样系统104来监测诸如在其它处理流、化学浴、大量化学品储存、环境流出物和其它液体样本处的遍及处理设施的超痕量杂质。在一实现方式中,从远程采样系统104到分析系统的样本的传送是以近似1.2米每秒1.2ms的速率提供的,提供对遍及处理设施的超痕量杂质的近实时分析例如,ICPMS分析。示例2━再现性在一实现方式中,分析系统102位于距远程采样系统104一百米100m。远程采样系统104获得二十个离散样本并且将它们传输到分析系统102以确定在20个离散样本的每一个样本中存在的每一种化学物质的信号强度。每一个离散样本包括以下化学物质:锂Li、铍Be、硼B、钠Na、镁Mg、铝Al、钙Ca、锰Mn、铁Fe、钴Co、镍Ni、铜Cu、锌Zn、锗Ge、锶Sr、银Ag、镉Cd、铟In、锡Sn、锑Sb、钡Ba、铈Ce、铪Hf、钨W和铅Pb。在由分析系统102进行的分析后,确定针对所有化学物质的跨越所有二十个离散样本的相对标准偏差RSD小于百分之三3%。因此,在分析系统102与远程采样系统104之间的一百米处的示例系统100提供来自获得样本、将样本传送一百米到分析系统102例如,经由传输线144、以及利用分析系统102分析样本的可靠再现性。示例3━与手动采样的比较━半导体工艺示例参考图13,提供了示出用于半导体制造工艺SC-1浴的化学浴随时间经过的金属污染的图表。图表包括部分1100,其示出了针对根据在三个时间点处取得的手动样本测量的金属污染的数据点。图表还包括部分1102,其示出了从来自叠加如下数据点的部分1100的手动样本测量的金属污染的数据点,所述数据点是针对从来自系统100从远程采样系统104以超过手动采样方法的采样频率例如,更频繁地至少十六次到十七次取得的样本测量的金属污染的。如在部分1102中所示,在半导体制造工艺中随着时间过去发生的污染物中的逐渐增加。确定何时在特定的半导体工艺中交换化学品的寿命时间或寿命计数方法例如,来自部分1100的手动采样技术通常不能解释金属污染物随着时间过去的特征。这样,化学品通常是在不知道在浴中的金属污染物的情况下来交换的。这可以导致过度交换,其中化学浴实际上可以提供额外的晶片处理但是无论如何都要改变例如,导致工艺正常运行时间的损失,或者在交换不足的情况下,其中化学浴实际上具有不可接受的金属污染但是直到稍后的时间才改变例如,可能危害通过工艺产生的晶片。如在部分1102中可见的,金属污染物可以是利用系统100以更高的频率来自动跟踪的。设置污染限制1104以当达到针对化学浴的污染物限制时警告CIM主机906。因此当达到污染限制1104时,系统100可以自动地引起在处理操作中的停止例如,避免交换不足,同时当未达到污染限制1104时允许处理继续,从而在可行时提供过程正常运行时间例如,避免过度交换。替代地,或除了本文中描述的其它示例之外,示例包括以下内容的任何组合:一种用于校准电感耦合等离子体ICP分析仪器的系统,包括:样本分析设备,其被配置为从远程采样系统接收样本以及确定在接收到的样本中的在第一样本基质中感兴趣的化学物质的浓度;以及控制器,其可操作地耦合到样本分析设备并且被配置为:基于由样本分析设备进行的对在第二样本基质中的不同浓度的感兴趣的化学物质的分析而生成主校准曲线,基于由样本分析设备进行的对在第一样本基质中的不同浓度的感兴趣的化学物质的分析而生成次校准曲线,以及确定将次校准曲线与主校准曲线进行关联的基质校正因子。上文描述的系统,其中,样本分析设备被设置在第一位置处,以及远程采样系统被设置在第二位置处,第一位置是远离第二位置的。上文描述的系统,其中,与第一样本基质相比,第二样本基质是对在样本分析设备处的衰减和漂移中的至少一者做出相对更下响应的。上文描述的系统,其中,控制器被配置为基于由样本分析设备对在第二样本基质中感兴趣的不同浓度的化学物质的周期性分析来更新主校准曲线。上文描述的系统,其中,第一样本基质由从由下列项构成的组中选择的样本基质构成:去离子水、异丙醇、氨溶液、氢氟酸、盐酸、过氧化物、氟化铵、LAL化学品、DSP化学品、和FND化学品。上文描述的系统,其中,第二样本基质由从由下列项构成的组中选择的样本基质构成:去离子水、异丙醇、氨溶液、氢氟酸、盐酸、过氧化物、氟化铵、LAL化学品、DSP化学品、和FND化学品。上文描述的系统,其中,主校准曲线具有主曲线斜率,并且次校准曲线具有次曲线斜率,并且基质校正因子是通过将次曲线斜率除以主曲线斜率来确定的。一种校准电感耦合等离子体ICP分析仪器的方法,包括:基于由样本分析设备对具有第一样本基质的感兴趣的化学物质的第一标准溶液的分析而生成主校准曲线;基于由样本分析设备对具有第二样本基质的感兴趣的化学物质的第二标准溶液的分析而生成次校准曲线;以及确定用于将次校准曲线关联到主校准曲线的针对次校准曲线的基质校正因子。上文描述的方法,其中,生成主校准曲线包括基于由样本分析设备对在第一样本基质中感兴趣的不同浓度的化学物质的分析而生成主校准曲线。上文描述的方法,其中,生成次校准曲线包括基于由样本分析设备对在第二样本基质中感兴趣的不同浓度的化学物质的分析而生成次曲线。上文描述的方法,其中,与第二样本基质相比,第一样本基质是对在样本分析设备处的衰减和漂移中的至少一者做出相对更大响应的。上文描述的方法,还包括基于由样本分析设备对在第一样本基质中感兴趣的不同浓度的化学物质进行的周期性分析来更新主校准曲线。上文描述的方法,还包括通过将次校准曲线的斜率除以主校准曲线的斜率来确定基质校正因子。一种用于校准电感耦合等离子体ICP分析仪器的系统,包括:至少一个处理器,其被配置为通信地耦合到样本分析设备;以及至少一个包括计算机程序代码的存储器,所述至少一个存储器和所述计算机程序代码被配置为与所述至少一个处理器一起,使得ICP分析仪器用于:基于由样本分析设备对在第二样本基质中的不同浓度的感兴趣的化学物质的分析而生成主校准曲线,基于由样本分析设备对在第一样本基质中的不同浓度的感兴趣的化学物质的分析而生成次校准曲线,以及确定将二级校准曲线与主校准曲线进行关联的基质校正因子。上文描述的系统,其中,所述至少一个处理器还使得ICP分析仪器用于基于由样本分析设备对在第一样本基质中的不同浓度的感兴趣的化学物质的分析来生成主校准曲线。上文描述的系统,其中,所述至少一个处理器还使得ICP分析仪器用于基于由样本分析设备对在第二样本基质中的不同浓度的感兴趣的化学物质的分析而生成次曲线。上文描述的系统,其中,与第二样本基质相比,第一样本基质是对在样本分析设备处的衰减和漂移中的至少一者做出相对更大响应的。上文描述的系统,其中,所述至少一个处理器还使得ICP分析仪器用于基于由样本分析设备对在第一样本基质中感兴趣的化学物质的不同浓度进行的周期性分析来更新主校准曲线。上文描述的系统,其中,所述至少一个处理器还使得ICP分析仪器用于通过将次校准曲线的斜率除以主校准曲线的斜率来确定基质校正因子。上文描述的系统,其中,第一样本基质由从由下列项构成的组中选择的样本基质构成:去离子水、异丙醇、氨溶液、氢氟酸、盐酸、过氧化物、氟化铵、LAL化学品、DSP化学品、和FND化学品,以及第二样本基质包括从由下列项构成的的组中选择的样本基质:去离子水、异丙醇、氨溶液、氢氟酸、盐酸、过氧化物、氟化铵、LAL化学品、DSP化学品、和FND化学品。结论在实现方式中,各种分析设备可以利用本文中描述的结构、技术、方法等。因此,尽管本文中描述了系统,但是各种分析仪器可以利用所描述的技术、方法、结构等。这些设备可以被配置有有限的功能例如,瘦设备或具有强健的功能例如,厚设备。因此,设备的功能可以涉及设备的软件或硬件资源,例如处理能力、存储器例如,数据存储能力、分析能力等。通常,本文中描述的功能中的任何功能可以使用硬件例如,诸如集成电路的固定逻辑电路、软件、固件、手动处理、或其组合来实现。因此,在上文公开内容中论述的块通常表示硬件例如,诸如集成电路的固定逻辑电路、软件、固件、或其组合。在硬件配置的实例中,在上文公开内容中论述的各种块可以是与其它功能一起被实现为集成电路的。这样的集成电路可以包括给定的块、系统、或电路的所有功能,或者块、系统、或电路的一部分功能。进一步地,块,系统或电路的元素可以是跨越多个集成电路实现的。这样的集成电路可以包括各种集成电路,包括但不必限于:单片集成电路、倒装芯片集成电路、多芯片模块集成电路、和或混合信号集成电路。在软件实现方式的实例中,在上文公开内容中论述的各种块表示当在处理器上被执行时,执行指定任务的可执行指令例如,程序代码。这些可执行指令可以存储在一个或多个有形计算机可读介质中。在一些这样的实例中,整个系统、块或电路可以是使用其软件或固件等效物来实现的。在其它实例中,给定的系统、块或电路的一部分可以是在软件或固件中实现的,而其它部分是在硬件中实现的。尽管主题已经以特定于结构特征和或过程操作的语言进行了描述,但是要理解的是,所附权利要求中限定的主题不必限于上文描述的具体特征或动作。而是,上文描述的具体特征和动作是作为实现权利要求的示例形式而公开的。

权利要求:1.一种用于校准电感耦合等离子体ICP分析仪器的系统,包括:样本分析设备,其被配置为从远程采样系统接收样本以及确定在接收的样本中的第一样本基质中的感兴趣的化学物质的浓度;以及控制器,其可操作地耦合到所述样本分析设备并且被配置为:基于由所述样本分析设备进行的、对在第二样本基质中的不同浓度的感兴趣的化学物质的分析,来生成主校准曲线,基于由所述样本分析设备进行的、对在第一样本基质中的不同浓度的感兴趣的化学物质的分析,来生成次校准曲线,以及确定用于将所述次校准曲线与所述主校准曲线相关联的基质校正因子。2.根据权利要求1所述的系统,其中,所述样本分析设备被设置在第一位置处以及所述远程采样系统被设置在第二位置处,所述第一位置是远离所述第二位置的。3.根据权利要求1所述的系统,其中,与所述第一样本基质相比,所述第二样本基质是对所述样本分析设备处的衰退和漂移中的至少一项做出相对更大响应的。4.根据权利要求1所述的系统,其中,所述控制器被配置为:基于通过所述样本分析设备进行的、对在所述第二样本基质中的不同浓度的所述感兴趣的化学物质的周期性分析,来更新所述主校准曲线。5.根据权利要求1所述的系统,其中,所述第一样本基质由从由以下各项组成的组中选择的样本基质组成:去离子水、异丙醇、氨溶液、氢氟酸、盐酸、过氧化氢、氟化铵、LAL化学品、DSP化学品和FND化学品。6.根据权利要求1所述的系统,其中,所述第二样本基质由从由以下各项组成的组中选择的样本基质组成:去离子水、异丙醇、氨溶液、氢氟酸、盐酸、过氧化氢、氟化铵、LAL化学品、DSP化学品和FND化学品。7.根据权利要求1所述的系统,其中,所述主校准曲线具有主曲线斜率,而所述次校准曲线具有次曲线斜率,并且所述基质校正因子是通过将所述次曲线斜率除以所述主曲线斜率来确定的。8.一种校准电感耦合等离子体ICP分析仪器的方法,包括:基于通过样本分析设备进行的、对具有第一样本基质的感兴趣的化学物质的第一标准溶液的分析,来生成主校准曲线;基于通过所述样本分析设备进行的、对具有第二样本基质的所述感兴趣的化学物质的第二标准溶液的分析,来生成次校准曲线,以及确定用于将所述次校准曲线与所述主校准曲线相关联的针对所述次校准曲线的基质校正因子。9.根据权利要求8所述的方法,其中,生成所述主校准曲线包括:基于通过所述样本分析设备进行的、对在第一样本基质中的不同浓度的所述感兴趣的化学物质的分析,来生成所述主校准曲线。10.根据权利要求8所述的方法,其中,生成所述次校准曲线包括:基于通过所述样本分析设备进行的、对在所述第二样本基质中的不同浓度的所述感兴趣的化学物质的分析,来生成所述次校准曲线。11.根据权利要求8所述的方法,其中,与所述第二样本基质相比,所述第一样本基质是对所述样本分析设备处的衰退和漂移中的至少一项做出相对更大响应的。12.根据权利要求8所述的方法,还包括:基于通过所述样本分析设备进行的、对在所述第一样本基质中的不同浓度的所述感兴趣的化学物质的周期性分析,来更新所述主校准曲线。13.根据权利要求8所述的方法,还包括:通过将所述次校准曲线的斜率除以所述主校准曲线的斜率,来确定所述基质校正因子。14.一种用于校准电感耦合等离子体ICP分析仪器的系统,包括:至少一个处理器,其被配置为通信耦合到样本分析设备;以及至少一个存储器,其包括计算机程序代码,所述至少一个存储器和所述计算机程序代码被配置为:与所述至少一个处理器一起,使所述ICP分析仪器用于:基于通过所述样本分析设备进行的、对在第二样本基质中的不同浓度的感兴趣的化学物质的分析,来生成主校准曲线,基于通过所述样本分析设备进行的、对在第一样本基质中的不同浓度的所述感兴趣的化学物质的分析,来生成次校准曲线,以及确定用于将所述次校准曲线与所述主校准曲线相关联的基质校正因子。15.根据权利要求14所述的系统,其中,所述至少一个处理器还使得所述ICP分析仪器用于基于通过所述样本分析设备进行的、对在第一样本基质中的不同浓度的所述感兴趣的化学物质的分析,来生成所述主校准曲线。16.根据权利要求14所述的系统,其中,所述至少一个处理器还使得所述ICP分析仪器用于基于通过所述样本分析设备进行的、对在所述第二样本基质中的不同浓度的所述感兴趣的化学物质的分析,来生成所述次校准曲线。17.根据权利要求14所述的系统,其中,与所述第二样本基质相比,所述第一样本基质是对所述样本分析设备处的衰退和漂移中的至少一项做出相对更大响应的。18.根据权利要求14所述的系统,其中,所述至少一个处理器还使得所述ICP分析仪器用于基于通过所述样本分析设备进行的、对在所述第一样本基质中的不同浓度的所述感兴趣的化学物质的周期性分析,来更新所述主校准曲线。19.根据权利要求14所述的系统,其中,所述至少一个处理器还使得所述ICP分析仪器用于通过将所述次校准曲线的斜率除以所述主校准曲线的斜率,来确定所述基质校正因子。20.根据权利要求14所述的系统,其中,所述第一样本基质由从由以下各项组成的组中选择的样本基质组成:去离子水、异丙醇、氨溶液、氢氟酸、盐酸、过氧化氢、氟化铵、LAL化学品、DSP化学品以及FND化学品,而所述第二样本基质由从由以下各项组成的组中选择的样本基质组成:去离子水、异丙醇、氨溶液、氢氟酸、盐酸、过氧化氢、氟化铵、LAL化学品、DSP化学品和FND化学品。

百度查询: 基础科学公司 用于ICPMS基质偏移校准的系统和方法

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