申请/专利权人：华中科技大学

申请日：2022-06-29

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN115144373B

主分类号：G01N21/47

分类号：G01N21/47;G01N21/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2022.10.25#实质审查的生效;2022.10.04#公开

摘要：本发明公开了基于角度自校准的反射式叠层衍射成像方法、装置和系统，属于叠层衍射成像领域。本发明基于光场旋转的方式建立反射式光场传播模型，利用反射式叠层衍射算法获取低分辨率样品和探针的重构图像，旋转样品找到清晰度最高的角度实现待测样品角度的快速定位，最后设置样品和探测器的角度区间，向衍射光强分布误差最小的方向收敛，完成角度误差自校准，实现样品和探针高分辨率重构，具有校准灵敏度高、运算速度快、无需额外信息等优点，与其他校准方法互相自适应，可应用于生物样品成像、半导体缺陷检测、微纳结构表征等领域。

主权项：1.一种基于角度自校准的反射式叠层衍射成像方法，其特征在于，该方法应用于反射式叠层衍射成像系统，该方法包括：S1.获取待测样品的扫描位置信息、衍射光场强度信息、待测样品与光轴之间的当前待校准角度θ、探测器与光轴之间的当前待校准角度α，将[θ,α]输入至反射式叠层衍射成像算法，得到未经校准的重构样品和探针；S2.等间距采样初始校准范围[θ-Δθ1,θ+Δθ1]，Δθ1表示初始校准偏移量，得到多个采样角度{θm}，将θ和θm输入至旋转传播模型，以模拟未经校准的重构样品旋转至各采样角度平面，对旋转后的重构样品进行相位补偿，计算补偿后重构样品的清晰度，将当前待校准角度θ更新为清晰度最大对应的采样角度；S3.等间距采样精准校准范围[θ-Δθ2,θ+Δθ2]和探测器角度区间[α-Δα,α+Δα]，Δθ2表示精准校正偏移量，得到多组采样角度组合{[θi,αj]}，将每组[θi,αj]输入至反射式叠层衍射成像算法，计算各组模拟衍射光强与实际衍射光强之间的误差，获取误差最小对应的采样角度组合；S4.将当前待校准角度θ和当前待校准角度α更新为最小误差时的采样角度组合，并对应更新重构样品和探针，判断最小误差是否小于设定阈值，若是，输出对应的重构样品和探针，否则，调整精准校准范围和探测器角度区间，进入步骤S3。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华中科技大学 基于角度自校准的反射式叠层衍射成像方法、装置和系统

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