申请/专利权人：江苏科技大学

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117889747A

主分类号：G01B11/00

分类号：G01B11/00;G06F17/14;G06T7/30

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种微结构的干涉衍射测量装置及其结构复原方法，包括相干光源，由相干光源发出的光经过偏振片和扩束准直系统后经第一分束棱镜分为两路光，一路通过衰减片后被第一反射镜反射形成参考光，另一路到达微结构产生装置形成衍射光，衍射光经过第二双凸透镜后，与参考光在第二分束棱镜合束后发生干涉，第二双凸透镜的像方焦平面经过第二分束棱镜后发生平移，将CCD感光面放置在平移后的像面上。本发明将振幅或相位调制器作为微结构产生装置，将干涉仪作为微结构的干涉衍射测量装置，能够简单地实现对复杂微结构的可控采集以及干涉衍射现象的记录和观测，且只需对衍射复振幅与相位传播因子的比值进行逆傅里叶变换实现对待测微结构的快速复原。

主权项：1.一种微结构的干涉衍射测量装置，其特征在于，包括相干光源、偏振片、扩束准直系统、第一分束棱镜、衰减片、第一反射镜、微结构产生装置、第二双凸透镜、第二分束棱镜和CCD，由相干光源发出的光经过偏振片和扩束准直系统后，再经过第一分束棱镜分为两路光，一路通过衰减片后被第一反射镜反射形成参考光，另一路到达微结构产生装置形成衍射光，衍射光经过第二双凸透镜后，与参考光在第二分束棱镜合束后发生干涉，第二双凸透镜的像方焦平面经过第二分束棱镜后发生平移，将CCD感光面放置在平移后的像面上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏科技大学 一种微结构的干涉衍射测量装置及其结构复原方法

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