申请/专利权人：埃尔迪科科学股份有限公司

申请日：2020-05-19

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN113906536B

主分类号：H01J37/20

分类号：H01J37/20;H01J37/28

优先权：["20190520 EP 19175432.4"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2022.01.25#实质审查的生效;2022.01.07#公开

摘要：本发明涉及一种用于结晶样本31的带电粒子结晶学，特别是用于结晶样本31的电子结晶学的衍射仪1。衍射仪1包括：带电粒子源10，用于沿着带电粒子束轴11生成带电粒子束；带电粒子光学系统20，用于操纵带电粒子束，诸如以便利用带电粒子束照射样本；以及带电粒子检测系统50，至少用于基于透射通过样本的带电粒子束来收集样本31的衍射图案。衍射仪1还包括用于固持样本的样本固持器30和可操作地耦接到样本固持器30用于相对于束轴11定位样本31的操纵器40。操纵器40包括用于围绕倾斜轴44相对于入射带电粒子束倾斜样本固持器30的旋转台41，以及用于至少在垂直于倾斜轴44的平面内移动样本固持器30的多轴平移台42。多轴平移台42可操作地耦接在样本固持器30和旋转台41之间，使得多轴平移台42处于旋转台41的旋转系统中，并且样本固持器30处于多轴平移台42的移动系统中。

主权项：1.一种用于结晶样本31的带电粒子结晶学的衍射仪1，所述衍射仪1包括：-带电粒子源10，用于沿着带电粒子束轴11生成带电粒子束；-带电粒子光学系统20，用于操纵所述带电粒子束；-样本固持器30，用于固持所述样本；-操纵器40，能够操作地耦接到所述样本固持器30以用于相对于所述束轴11定位所述样本31，其中所述操纵器40包括用于围绕倾斜轴44相对于所述带电粒子束来倾斜所述样本固持器30的旋转台41，以及用于至少在垂直于所述倾斜轴44的平面中移动所述样本固持器30的多轴平移台42，其中所述多轴平移台42能够操作地耦接在所述样本固持器30和所述旋转台41之间，使得所述多轴平移台42处于所述旋转台41的旋转系统中，并且所述样本固持器30处于所述多轴平移台42的移动系统中，从而使得能够相对于所述倾斜轴将所述样本的质心基本定位在轴上，其中与所述倾斜轴44的最大侧向偏差为至多1μm，-带电粒子检测系统50，至少用于基于透射通过所述样本31的所述带电粒子束来收集所述样本31的衍射图案，其中，所述倾斜轴44在空间中是固定的，并且在基本竖直的方向Z上延伸，所述衍射仪1还包括测量设备，该测量设备包括一个或多个电容性位置传感器或干涉测量设备，用于测量所述样本固持器30相对于所述带电粒子束的位置，并且所述衍射仪1还包括反馈控制器，所述反馈控制器能够操作地耦接到所述测量设备和所述操纵器40并且被配置为控制所述样本31相对于所述带电粒子束的位置，使得对于所述旋转台41的每个倾斜角度位置，所述样本的质心相对于所述倾斜轴基本上保持在轴上，其中与所述倾斜轴的最大侧向偏差为至多1μm，并且因此对于所述旋转台41的每个倾斜角度位置，所述样本的体积基本保持在所述带电粒子束内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 埃尔迪科科学股份有限公司 用于带电粒子晶体学的衍射仪

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