申请/专利权人：唐摩库柏公司

申请日：2020-09-08

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN114002190B

主分类号：G01N21/47

分类号：G01N21/47;G01N21/41

优先权：["20200728 KR 10-2020-0093713"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2022.07.12#专利申请权的转移;2022.02.22#实质审查的生效;2022.02.01#公开

摘要：本发明揭示利用低相干光源和多重图案照明的三维光学衍射层析成像方法及装置。本发明一实施例的利用三维光学衍射层析成像装置的利用低相干光源和多重图案照明上述三维光学衍射层析成像方法包括：利用多个图案向试片入射光源的步骤；在图像测定部中，在上述试片的不同深度depth位置上测定不同的位置，以此测定上述试片的二维影像的步骤；以及以在不同的上述图案和在不同的上述深度位置中测定的上述二维影像为基础复原上述试片的三维折射率信息的步骤。

主权项：1.一种三维光学衍射层析成像方法，利用三维光学衍射层析成像装置的利用低相干光源和多重图案照明的上述三维光学衍射层析成像方法，其特征在于，包括：利用多个图案向试片入射光源的步骤；在图像测定部中，在上述试片的不同深度位置上测定不同的位置，以此测定上述试片的二维影像的步骤；以及以在不同的上述图案和在不同的上述深度位置中测定的上述二维影像为基础复原上述试片的三维折射率信息的步骤；在利用上述多个图案来向试片入射光源的步骤中，使用至少3个光照明图案，以空间频率坐标系为基准，光的强度位于最外围，当在被定义为上述最外围的位置中，组合满足空间频率向中心移动的过程中，光的强度减少的条件的多个图案来生成最终光学传递函数时，在各个空间频率位置中，以使光学传递函数值最大程度均匀的方式确定图案。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 唐摩库柏公司 三维光学衍射层析成像方法及装置

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