申请/专利权人：南京平行视界技术有限公司

申请日：2024-01-29

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117647918B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2024.03.22#实质审查的生效;2024.03.05#公开

摘要：本发明公开了一种制备液晶衍射元件的曝光装置，包括光源、扩束准直器、相位产生器和样品板；扩束准直器用于将光源发出的光转变为能量均匀的平行光；相位产生器将平行光产生所需相位，照射在样品板上，样品板上的光敏取向材料得到相位产生器产生的相位并传递至液晶分子层，形成液晶衍射元件；样品板倾斜设置。本发明能够高效地制备得到液晶衍射元件，为快速、稳定、大规模的液晶衍射元件生产提供可能，有利于大规模推广应用，降低对环境的振动、温湿度等的高要求；曝光装置的曝光稳定性好，曝光时间短，通过转动样品板来改变曝光夹角，制备不同周期的光栅；设置第二反射镜，调节更准确，避免干涉；能调节曝光光束的偏振特性，使曝光能量翻倍。

主权项：1.一种制备液晶衍射元件的曝光装置，其特征在于：包括光源（1）、扩束准直器（2）、相位产生器（3）和样品板（4）；所述扩束准直器（2）用于将光源（1）发出的光转变为能量均匀的平行光；所述相位产生器（3）将平行光产生所需相位，照射在样品板（4）上，所述样品板（4）上的光敏取向材料得到相位产生器（3）产生的相位并传递至液晶分子层，形成液晶衍射元件；所述样品板（4）倾斜设置；所述相位产生器（3）包括第一四分之一波片（301）、第二四分之一波片（302）、二分之一波片（303）、第一反射镜（304）；所述平行光经过第一四分之一波片（301）变成某一旋向的圆偏振光，穿过样品板（4）后经过第二四分之一波片（302）变成线偏振光，穿过二分之一波片（303）后经过第一反射镜（304）垂直反射回来经过二分之一波片（303）和第二四分之一波片（302），所述二分之一波片（303）和第二四分之一波片（302）将反射回来的光调节为另一旋向的圆偏振光，与前一束手性相反的圆偏振光干涉。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京平行视界技术有限公司 一种制备液晶衍射元件的曝光装置

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