申请/专利权人：中国科学院微电子研究所

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117891084A

主分类号：G02B27/42

分类号：G02B27/42

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本申请涉及一种相干衍射成像方法及应用其的系统。所述方法包括：生成球面波，将球面波照射于待成像物体平面，以发生相干衍射；使用位于菲涅耳区的记录面记录所述待成像物体平面在发生相干衍射后形成的相干衍射信息；在所述记录面形成复值分布的初始衍射光；将所述记录面沿所述待成像物体平面的方向作为回传方向，并基于初始衍射光沿所述回传方向的回传得到最佳回传距离；根据所述最佳回传距离重建待成像物体平面，得到目标图像。本申请将记录面置于菲涅耳区，即近场区域，将球面波照明的相干衍射成像的物理模型等效转化为平面波照明的相干衍射成像模型，并准确计算出最佳回传距离，即等效重建距离，从而实现了高精度、高分辨率的成像效果。

主权项：1.一种相干衍射成像方法，其特征在于，所述方法包括：生成球面波，将所述球面波照射于待成像物体平面，以发生相干衍射；使用位于菲涅耳区的记录面记录所述待成像物体平面在发生相干衍射后形成的相干衍射信息；在所述记录面形成复值分布的初始衍射光；将所述记录面沿所述待成像物体平面的方向作为回传方向，并基于所述初始衍射光沿所述回传方向的回传得到最佳回传距离；根据所述最佳回传距离重建所述待成像物体平面，得到目标图像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种相干衍射成像方法及应用其的系统

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