申请/专利权人：通用技术集团机床工程研究院有限公司

申请日：2021-08-20

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113618421B

主分类号：B23Q1/01

分类号：B23Q1/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.07.11#专利申请权的转移;2021.11.26#实质审查的生效;2021.11.09#公开

摘要：本发明涉及一种模块化滑块装置及应用其的超精密液体静压导轨单元，模块化滑块装置包括静压滑块和节流器，静压滑块与节流器采用模块化设计，组合为一体，节流器与静压腔匹配设置，每个静压腔均匹配有对应的节流器；静压滑块上开设有进油口，进油口与节流器匹配，进油口通过静压滑块内开设的滑块液体流道与对应的静压腔连通，对应的节流器安装在连通进油口与静压腔的滑块液体流道上；本发明的液体静压导轨利用液体静压技术支撑运动部件，具备很高的直线度并可精确实现微小进给运动的分辨率，节流器与静压滑块设计为模块化。通过多路油压管道为每一个静压滑块提供压力，并通过静压滑块上的节流器调节静压油腔内的压力及流量。

主权项：1.一种模块化滑块装置，其特征在于，包括静压滑块和节流器，所述静压滑块与所述节流器采用模块化设计，组合为一体，所述节流器与静压腔匹配设置，每个静压腔均匹配有对应的所述节流器；所述静压滑块上开设有进油口，所述进油口与所述节流器匹配，所述进油口通过所述静压滑块内开设的滑块液体流道与对应的所述静压腔连通，对应的所述节流器安装在连通所述进油口与所述静压腔的滑块液体流道上，所述滑块装置在水平方向使用并作为承载静压滑块模组使用时，静压滑块的顶面设置上静压腔，底面设置下静压腔，作为侧向静压滑块模组使用时，静压滑块的两侧分别开设静压腔，所述节流器为双膜片节流器，所述双膜片节流器由安装在所述静压滑块上的节流器板和薄膜组成，中间通过垫片联结避免泄油，所述双膜片节流器通过更换垫片，或者修磨薄膜对所述双膜片节流器进行调节,所述双膜片节流器有两个，每个所述双膜片节流器对应一个静压腔。

全文数据：

权利要求：

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