申请/专利权人：北京通嘉宏瑞科技有限公司

申请日：2023-04-13

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN116428155B

主分类号：F04B39/00

分类号：F04B39/00;F04B37/14;F04B49/08;B08B5/02;B08B13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.08.01#实质审查的生效;2023.07.14#公开

摘要：本申请提供一种泵体清扫系统及泵体清扫控制方法，该泵体清扫系统用于对真空泵的泵体内部进行清扫，泵体包括多级腔室，泵体清扫系统包括：检测组件，包括多个检测元件，每个检测元件被配置为设置在一级腔室内，用于检测所在级腔室的氮气通入情况；阀体组件，包括多个阀体，每一阀体被配置为设置在一级腔室的腔壁上，用于控制所在级腔室的的氮气通入量；控制器，与检测组件及阀体组件连接，被配置为根据每一检测元件的检测结果控制与各级腔室连接的阀体的开闭。本申请通过在每级腔室设置检测元件及阀体，且控制器基于检测元件的检测结果控制各级腔室上的阀体的开闭，由此，有助于提升不同工况下泵体清扫的洁净度。

主权项：1.一种泵体清扫系统，其特征在于，用于对真空泵的泵体内部进行清扫，所述泵体具有多级腔室，所述泵体清扫系统包括：检测组件，包括多个检测元件，每个所述检测元件被配置为设置在每一级所述腔室内，用于检测所在级腔室的氮气通入情况；阀体组件，包括多个阀体，每一所述阀体被配置为设置在每一级所述腔室的腔壁上，用于控制所在级腔室的的氮气通入量；控制器，与所述检测组件及所述阀体组件连接，被配置为根据每一所述检测元件的检测结果控制与各级腔室连接的阀体的开闭；所述阀体具有阀体内部通道，所述阀体内部通道具有相对设置的进气端及出气端，所述进气端被配置为与氮气气源连通，所述出气端被配置为与该阀体所在级的腔室连通，自所述进气端向所述出气端，所述阀体内部通道包括第一主路通道段，多个支路通道段及第二主路通道段，所述第一主路通道段与所述进气端连接，所述第二主路通道段与所述出气端连接，所述多个支路通道段并行连接在所述第一主路通道段与所述第二主路通道段之间，所述阀体还包括多个电磁阀，每一所述电磁阀设置在一所述支路通道段上，并用于控制所在支路通道段的通断，所述控制器被配置为根据每一所述检测元件的检测结果控制各级腔室的阀体内的各电磁阀的开闭；所述阀体还包括自所述进气端向所述出气端依次设置在所述第一主路通道段上的调压阀及流量传感器，所述调压阀及所述流量传感器均与所述控制器连接，所述控制器还被配置为基于所述流量传感器的检测结果，控制所述调压阀的开度；所述阀体还包括设置在所述第一主路通道段上的第一单向阀及第二单向阀，所述第一单向阀位于所述调压阀与所述进气端之间，所述第二单向阀位于所述流量传感器背离所述调压阀的一端。

全文数据：

权利要求：

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