申请/专利权人:宁晋县晶樱光电科技有限公司
申请日:2023-10-10
公开(公告)日:2024-04-23
公开(公告)号:CN220825820U
主分类号:B24B27/033
分类号:B24B27/033;B24B41/04;B24B47/12
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.23#授权
摘要:本实用新型涉及单晶炉维护技术领域,提出了一种单晶炉热场自动清扫设备,包括密封室、活动在密封室表面的透明密封门、固定在密封室底部的支撑腿,所述透明密封门的表面固定连接有把手,所述密封室的内部设有两个打磨轮,所述密封室的顶部设置有打磨机构,所述打磨机构用于驱动两个打磨轮相互靠近对热场石墨件顶部与底部进行同时打磨,所述密封室的内部设有两个夹具,所述密封室的侧面设置有固定机构,所述固定机构用于驱动两个夹具相互靠近对热场石墨件进行固定。通过上述技术方案,解决了现有技术中将旋转托盘大小与热场中的石墨托盘大小设置为一致,用于方便热场石墨件的放置,但是需要手动打磨待清扫石墨,自动化程度不够高的问题。
主权项:1.一种单晶炉热场自动清扫设备,包括密封室(1)、活动在密封室(1)表面的透明密封门(11)、固定在密封室(1)底部的支撑腿(13),所述透明密封门(11)的表面固定连接有把手(12),其特征在于,所述密封室(1)的内部设有两个打磨轮(2),所述密封室(1)的顶部设置有打磨机构(3),所述打磨机构(3)用于驱动两个打磨轮(2)相互靠近对热场石墨件顶部与底部进行同时打磨,所述密封室(1)的内部设有两个夹具(7),所述密封室(1)的侧面设置有固定机构(4),所述固定机构(4)用于驱动两个夹具(7)相互靠近对热场石墨件进行固定,所述密封室(1)远离透明密封门(11)的一侧设置有除尘组件(5),所述除尘组件(5)用于对热场石墨件打磨产生的废屑进行清理。
全文数据:
权利要求:
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