申请/专利权人：哈尔滨工业大学

申请日：2022-10-07

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN115963870B

主分类号：G05D23/20

分类号：G05D23/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.05.02#实质审查的生效;2023.04.14#公开

摘要：双模复合低压超精密温控装置属于微环境温控设备技术领域，包括密封箱和设置于密封箱内侧的核心发热部件；在密封箱的外侧，设置有抽真空装置，抽真空装置将密封箱内部的压强稳定在低压状态；在密封箱内侧壁上设置有多组辐射对流双模复合控温机构，辐射对流双模复合控温机构对所述密封箱内侧的温度进行调控；密封箱内侧设置有对密封箱内侧环境进行监测的监测组件；在密封箱外侧设置有控制器，控制器获取所述监测组件的测量结果，并基于测量结果控制所述辐射对流双模复合控温机构对密封箱内侧的温度进行调节。通过抽真空装置、辐射对流双模复合控温机构实现对密封箱内侧环境温度的复合控制。

主权项：1.一种双模复合低压超精密温控装置，其特征在于：包括密封箱100和设置于所述密封箱100内侧的核心发热部件200；在所述密封箱100的外侧设置有将密封箱100内部的压强降低到常压下的抽真空装置300；在所述密封箱100内侧壁上设置有多组对所述密封箱100内侧温度进行调控辐射对流双模复合控温机构400，所述辐射对流双模复合控温机构400包括隔热框架410，在所述隔热框架410内侧阵列形成多个安装口411；在不同的所述安装口411内分别设置有辐射板420和对流组件430，所述对流组件430包括可拆卸连接于所述安装口411处的对流换热器431和安装于所述对流换热器431一侧的对流风机432；所述对流换热器431包括可拆卸连接于所述安装口411处的安装架431a；在所述安装架431a内侧间隔形成有若干水冷管道431b，在所述安装架431a上端设置有对流介质流出管431c，在所述安装架431a下端设置有对流介质流入管431d；所述对流介质流入管431d和所述对流介质流出管431c分别与所述水冷管道431b连通；所述辐射板420和对流组件430间隔交错设置；所述密封箱100内侧设置有对所述密封箱100内侧环境进行监测的监测组件500；在所述密封箱100外侧设置有控制器110，所述控制器110与所述监测组件500连通，并基于所述监测组件500的测量结果控制所述辐射对流双模复合控温机构400对所述密封箱100内侧的温度进行调节。

全文数据：

权利要求：

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