申请/专利权人:深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日:2023-05-15
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN220650490U
主分类号:G01N21/88
分类号:G01N21/88;G02B27/28;F21V9/00;G03B15/02;G01N21/01
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.22#授权
摘要:本申请公开了一种光学系统,光学系统包括照明光路和成像光路,照明光路用于对待检测物投射照明光束,成像光路用于对待检测物产生的检测光束进行成像以形成检测图像;照明光路包括在光路上依次设置的光源、匀光元件和偏振元件;匀光元件用于对光源发出的照明光束进行匀光;偏振元件用于滤除匀光后的光束在非偏振方向上的光分量;偏振元件的偏振方向垂直于光轴,且偏振方向在光轴垂面内的指向与检测图像的背景灰度分布有关;照明光路被用于提供照明功能时,偏振元件的偏振方向固定不变且被配置为将检测图像的背景灰度分布稳定在预设状态。避免图像灰度分布发生波动,能够提高照明光路的光束稳定性,提高成像质量,提高对待测物表面检测的准确性。
主权项:1.一种光学系统,其特征在于,包括照明光路和成像光路,所述照明光路用于对待检测物投射照明光束,所述成像光路用于对所述待检测物产生的检测光束进行成像以形成检测图像;所述照明光路包括在光路上依次设置的光源、匀光元件和偏振元件;所述匀光元件用于对所述光源发出的照明光束进行匀光;所述偏振元件用于滤除匀光后的光束在非偏振方向上的光分量;所述偏振元件的偏振方向垂直于光轴,且偏振方向在光轴垂面内的指向与所述检测图像的背景灰度分布有关;所述照明光路被用于提供照明功能时,所述偏振元件的偏振方向固定不变且被配置为将所述检测图像的背景灰度分布稳定在预设状态。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 深圳中科飞测科技股份有限公司 一种光学系统
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