申请/专利权人:淄博芯材集成电路有限责任公司
申请日:2023-08-23
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN220648854U
主分类号:F26B9/06
分类号:F26B9/06;F26B21/00;F26B21/12;B01D46/56;F26B25/02
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.22#授权
摘要:本实用新型公开了一种除湿干燥机干燥段HEPA改进系统,其属于封装载板技术领域。它解决了现有技术中传统干燥段HEPA存在的软管老化产生碎屑吸附在基板上影响良品率的缺陷。其主体结构包括干燥箱和鼓风机,所述鼓风机通过加热装置和软管与干燥箱上方的上盖内部连通,上盖内设置有HEPA过滤装置和风刀,干燥箱内的干燥腔通过进风管二与鼓风机连通,进风管二上还连通有进风管一,进风管一上设置有用于调节进风量大小的风阀。本实用新型主要用于除湿干燥机上。
主权项:1.一种除湿干燥机干燥段HEPA改进系统,包括干燥箱5和鼓风机6,其特征在于:所述鼓风机6通过加热装置2和软管3与干燥箱5上方的上盖17内部连通,上盖17内设置有HEPA过滤装置1和风刀4,干燥箱5内的干燥腔18通过进风管二10与鼓风机6连通,进风管二10上还连通有进风管一9,进风管一9上设置有用于调节进风量大小的风阀8。
全文数据:
权利要求:
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