申请/专利权人：铜陵安德科铭电子材料科技有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220643257U

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型提供了一种化学气相沉积反应器的气体输送系统，涉及化学气相沉积反应器技术领域，包括底座、环形气道和反应器本体；所述底座上安装有反应器本体，且反应器本体的下部外套置有环形气道，所述环形气道的上端面环设有四组上分散输送管道结构，且四组上分散输送管道结构围合在反应器本体外，并且反应器本体的上端扭合有扭盖；所述底座的上端面左右两侧均固定有支撑架，且支撑架的上端固定有下套座，并且下套座支撑在环形气道的中部下端，且底座的下部穿过下套座设置。本实用新型方便采用不同气体输入管同时抽取，方便将其混合后，进行多向分区输入反应器内，使其输入反应器内更均匀快速，使用更方便可靠。

主权项：1.一种化学气相沉积反应器的气体输送系统，其特征在于，包括底座（1）、环形气道（2）和反应器本体（4）；所述底座（1）上安装有反应器本体（4），且反应器本体（4）的下部外套置有环形气道（2），所述环形气道（2）的上端面环设有四组上分散输送管道结构（3），且四组上分散输送管道结构（3）围合在反应器本体（4）外，并且反应器本体（4）的上端扭合有扭盖（40）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 铜陵安德科铭电子材料科技有限公司 一种化学气相沉积反应器的气体输送系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD