申请/专利权人：JSR株式会社

申请日：2023-09-19

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117784520A

主分类号：G03F7/004

分类号：G03F7/004;G03F7/027

优先权：["20220927 JP 2022-154141"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.29#公开

摘要：本发明的课题在于提供一种可抑制未曝光部分的白化、且可形成显影性及分辨率优异的抗蚀剂图案膜的感光性树脂组合物、可形成所述抗蚀剂图案膜的抗蚀剂图案膜的制造方法、及使用所述抗蚀剂图案膜的镀敷造形物的制造方法。一种感光性树脂组合物，含有：A碱可溶性树脂；B1在一分子中分别具有至少两个甲基丙烯酰基与羟基、且具有环结构的聚合性化合物；C光自由基聚合引发剂；D选自由包含两个以上的氮原子的含氮杂环化合物d1、硫醇化合物d2、及聚合抑制剂d3所组成的群组中的至少一种化合物；以及F溶剂。

主权项：1.一种感光性树脂组合物，含有：A碱可溶性树脂；B1在一分子中分别具有至少两个甲基丙烯酰基与羟基、且具有环结构的聚合性化合物；C光自由基聚合引发剂；D选自由包含两个以上的氮原子的含氮杂环化合物d1、硫醇化合物d2、及聚合抑制剂d3所组成的群组中的至少一种化合物；以及F溶剂。

全文数据：

权利要求：

百度查询： JSR株式会社 感光性树脂组合物、抗蚀剂图案膜的制造方法及镀敷造形物的制造方法

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