申请/专利权人：英福康公司

申请日：2022-06-02

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117795122A

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;G01N29/32;G01B7/06;G01N29/036;G01N29/02

优先权：["20210604 US 63/196929"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.29#公开

摘要：一种用于监测制造系统的载体流中的前体材料的方法，包括：在QCM传感器的表面上沉积前体材料的膜；以及确定具有沉积的前体材料的膜的QCM传感器的起始谐振频率。在制造系统的操作期间测量QCM传感器的谐振频率；并且将其与起始谐振频率进行比较。当测量的谐振频率与相应的起始谐振频率相差超过阈值时导致系统误差。自动实现系统校正，并且所述系统校正被配置成将QCM传感器恢复到起始谐振频率。

主权项：1.一种用于监测制造系统的载体流中的前体材料的方法，包括：在传感器晶体的表面上沉积前体材料的膜；确定具有沉积的前体材料的膜的传感器晶体的起始谐振频率；在制造系统的操作期间测量传感器晶体的谐振频率；将传感器晶体的测量的谐振频率与起始谐振频率进行比较；当测量的谐振频率与起始谐振频率相差超过阈值时导致系统误差；当测量的谐振频率低于起始谐振时，自动实现系统校正，所述系统校正被配置成减少前体膜沉积；以及当测量的谐振频率高于起始谐振频率时，自动实现系统校正，所述系统校正被配置成增加前体膜沉积。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 英福康公司 一种用于使用一个或多个石英晶体微量天平传感器对载体流中的工艺气体进行质量流量测量和控制的系统和方法

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