申请/专利权人：上海征世科技股份有限公司

申请日：2023-12-05

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117779181A

主分类号：C30B25/00

分类号：C30B25/00;C30B29/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了一种附带原料气均匀电离功能的单晶金刚石生长设备，涉及单晶金刚石制备技术领域，该生长设备包括进料仓与进料床，进料仓内上设置有进料盘，进料盘与进料仓滑动连接，进料盘上设置有升降架，升降架上设置有升降气缸，升降气缸输出端上设置有合成架，进料仓上设置有合成仓，合成仓上设置有合成管，合成管上设置有微波发生器，合成仓内设置有加压仓，加压仓内设置有控压组件，合成架上设置有托举台，托举台上设置有多个探针组，每个探针组分别与托举台滑动连接，合成仓底端设置有多个密封板，每个密封板分别与合成仓滑动连接，加压仓内设置有排气管，排气管与加压仓连通，本发明具有自动加压以原料气体均匀电离的功能。

主权项：1.一种附带原料气均匀电离功能的单晶金刚石生长设备，其特征在于：该生长设备包括进料仓1与进料床2，所述进料仓1内上设置有进料盘3，所述进料盘3与进料仓1滑动连接，所述进料盘3上设置有升降架4，所述升降架4上设置有升降气缸5，所述升降气缸5输出端上设置有合成架6，所述进料仓1上设置有合成仓7，所述合成仓7上设置有合成管16，所述合成管16上设置有微波发生器14，所述合成仓7内设置有加压仓8，所述加压仓8内设置有控压组件9，所述合成架6上设置有托举台10，所述托举台10上设置有多个探针组11，每个所述探针组11分别与托举台10滑动连接，所述合成仓7底端设置有多个密封板，每个所述密封板分别与合成仓7滑动连接，所述加压仓8内设置有排气管13，所述排气管13与加压仓8连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海征世科技股份有限公司 一种附带原料气均匀电离功能的单晶金刚石生长设备

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