申请/专利权人：常州鲤跃农业科技有限公司;江苏理工学院

申请日：2023-12-07

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117782411A

主分类号：G01L11/02

分类号：G01L11/02;G02B6/122;G02B6/125

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明是一种基于SPPs的拱桥形光波导的水下压强检测装。本发明涉及水下压力监测技术领域，本发明构建了一个拱桥形波导，该波导由一个Ω形波导与一个类M形谐振腔构成，拱桥形波导提供了不同状态的表面等离子激元，经过耦合形成了两个Fano共振峰，当在拱桥形波导上方施加待测压力时，类M形谐振腔的上侧将产生形变，使Fano共振峰产生移动，通过测量Fano共振峰的波长移动量，利用待测压力与类M形谐振腔上侧形变量的对应关系，即可得出待测压力的大小，本发明具有尺寸小、结构简单、灵敏度高、集成度高的优点。

主权项：1.一种基于SPPs的拱桥形光波导的水下压强检测装置，其特征是：所述传感器包括：底层、金属层、Ω形波导、金属挡板、类M形谐振腔；基于x轴、y轴、z轴构成直角坐标系，在xy平面内：Ω形波导是由一个间断直波导和一个间断半圆环波导组合而成，间断直波导的几何中心为O1，间断直波导沿y轴方向的高度为50nm，间断直波导沿x轴方向的间断距离为100nm，间断半圆环波导的圆心为O2，O2与O1的距离为25nm，间断半圆环波导的内径R1为100nm，间断半圆环波导的外径R2的范围为140nm至155nm；在xy平面内：虚线a为过O1和O2、且垂直于Ω形波导的间断直波导的虚线，虚线a是在xy平面内的对称轴，虚线b为过O1且平行于Ω形波导的间断直波导的虚线，金属挡板关于虚线a对称，金属挡板沿x轴方向的宽度g为10nm；在xy平面内：类M形谐振腔是由四个矩形谐振腔组合而成，中间矩形的几何中心为O3，O3位于虚线a上，O3与O1的距离为215nm，中间矩形沿x轴方向的宽度为50nm，中间矩形沿y轴方向的高度h1的范围为50nm至65nm，左侧矩形的几何中心为O4，O4与虚线a的距离为225nm，O4与虚线b的距离为140nm，左侧矩形沿x轴方向的宽度为50nm，左侧矩形沿y轴方向的高度h2的范围为195nm至210nm，右侧矩形与左侧矩形关于虚线a对称，右侧矩形的结构参数大小与变化范围与左侧矩形一致，上方矩形的几何中心为O5，O5位于虚线a上，O5与O1的距离为270nm，上方矩形沿x轴方向的宽度为500nm，上方矩形沿y轴方向的高度为50nm。

全文数据：

权利要求：

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