申请/专利权人：YC化学制品株式会社

申请日：2022-07-27

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117795418A

主分类号：G03F7/004

分类号：G03F7/004;G03F7/038;G03F7/20

优先权：["20210823 KR 10-2021-0110962"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明涉及一种图案轮廓和分辨率改善用化学增幅型正性光刻胶组合物的特征是，相对于组合物总重量，所述图案轮廓和分辨率改善用化学增幅型正性光刻胶组合物由5至60重量％的聚合物树脂、0.1至5重量％的选自由化学式1至化学式3所表示的图案下部酸产生辅助单体Monomer添加剂、0.05至10重量％的光致酸产生剂、0.01至5重量％的酸扩散抑制剂、及余量的溶剂构成，相比于现有的正性光刻胶，其具有垂直的Vertical轮廓及改善的分辨率和感光度的同时表现出提供没有残余Residue性浮渣Scum且工艺裕度优异的组合物的效果。

主权项：1.一种图案轮廓和分辨率改善用化学增幅型正性光刻胶组合物，其特征在于，能够使用波长为248nm的光源进行曝光的光刻胶组合物包含0.1至5重量％的选自由下列化学式1至化学式3所表示的图案下部酸产生辅助单体Monomer添加剂，【化学式1】 【化学式2】 【化学式3】 在上述化学式1至化学式3中，R1至R3为选自下列化学式A至化学式E结构中的一种结构，R表示结合部位，化学式A 化学式B 化学式C 化学式D 化学式E

全文数据：

权利要求：

百度查询： YC化学制品株式会社 图案轮廓和分辨率改善用化学增幅型正性光刻胶组合物

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