申请/专利权人：深圳先进电子材料国际创新研究院

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117790369A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/66;G01N19/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本申请公开了一种晶圆切割胶带拾取性能检测系统及分析方法，涉及IC半导体芯片检测技术领域。能够检测切割胶带的顶出力和拾取剥离力并建立切割胶带拾取剥离力学性能数据库，筛选出切割胶带最佳拾取参数。该系统包括顶出力检测装置、拉拔力检测装置和微型控制电子万能材料试验机；顶出力检测装置包括载物部分、顶出部分和拾取部分；载物部分用于固定黏附有裸芯的切割胶带；顶出部分用于将裸芯顶出；拾取部分用于拾取裸芯；拉拔力检测装置包括拉拔部分和移动载物台；拉拔部分用于垂直向上拾取裸芯；移动载物台用于固定黏附有裸芯的切割胶带并定位不同位置的裸芯；本申请同时公开了一种基于上述系统的拾取性能分析方法。

主权项：1.一种晶圆切割胶带拾取性能检测系统，其特征在于，包括顶出力检测装置、拉拔力检测装置和微型控制电子万能材料试验机；所述顶出力检测装置包括载物部分、位于载物部分上方的顶出部分和连接在载物部分下部的拾取部分；所述载物部分用于固定黏附有裸芯的切割胶带；所述顶出部分用于将裸芯顶出；所述拾取部分用于拾取裸芯；当进行顶出力检测时，所述顶出部分与所述微型控制电子万能材料试验机的上部施力杆连接，所述拾取部分与所述微型控制电子万能材料试验机的试验台连接；所述拉拔力检测装置包括拉拔部分和位于所述拉拔部分下方的移动载物台；所述拉拔部分用于垂直向上拾取裸芯；所述移动载物台用于固定黏附有裸芯的切割胶带并定位不同位置的裸芯；当进行拉拔力检测时，所述拉拔部分与所述微型控制电子万能材料试验机的上部施力杆连接，所述移动载物台与所述微型控制电子万能材料试验机的试验台连接；所述微型控制电子万能材料试验机包括试验机本体、压力传感器和数据处理单元；所述压力传感器设置在所述试验机本体的上部施力杆上；所述数据处理单元位于所述试验机本体的外部并与所述压力传感器通讯连接；所述数据处理单元能够接收所述压力传感器检测到的所述顶出部分施加的顶出力或所述拉拔部分施加的拾取剥离力，并进行汇总。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳先进电子材料国际创新研究院 晶圆切割胶带拾取性能检测系统及分析方法

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