申请/专利权人：山东华光光电子股份有限公司

申请日：2022-09-22

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117772710A

主分类号：B08B7/00

分类号：B08B7/00;B08B13/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开一种MOCVD石墨件清洗装置，包括清洗室、载物台、旋转马达、流量计、压力计、真空泵和激光发生器。所述清洗室上设置有炉门，以便向清洗室中放入待清洗的石墨件或者取出清洗完毕的石墨件。所述载物台水平设置在清洗室的内腔中，所述旋转马达与载物台连接，用于驱动载物台水平转动。所述流量计连接在清洗室的进气管上，所述压力计连接在清洗室上用于测试其中压力。所述真空泵与清洗室的出气口连接用于抽真空。所述激光发生器设置在清洗室中载物台的上方。使用本发明的清洗装置进行MOCVD石墨件的清洗时，对石墨件损伤小，清洗效果稳定可靠，基本无材料残留，处理效率高，约5到10分钟即可清洗完毕，并可以显著降低清洗石墨件的能耗和成本。

主权项：1.一种MOCVD石墨件清洗装置，其特征在于，包括：清洗室、载物台、旋转马达、流量计、压力计、真空泵和激光发生器；其中：所述清洗室上设置有炉门；所述载物台水平设置在清洗室的内腔中，所述旋转马达与载物台连接，用于驱动载物台水平转动；所述流量计连接在清洗室的进气管上，所述压力计连接在清洗室上；所述真空泵与清洗室的出气口连接；所述激光发生器设置在清洗室中载物台的上方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东华光光电子股份有限公司 一种MOCVD石墨件清洗装置

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