申请/专利权人：通威太阳能(成都)有限公司

申请日：2019-01-28

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN109654899B

主分类号：F27D21/00

分类号：F27D21/00;F27D7/06;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权;2019.05.14#实质审查的生效;2019.04.19#公开

摘要：本发明公开了一种实用的扩散炉压力传感器保护系统，属于光伏设备生产技术领域，目的在于解决现有工艺产生的酸性尾气易对压力传感器电气结构造成腐蚀损坏，导致的生产过程出现异常停机的问题。其包括压力传感器和压力传感器下部的检测腔室，还设置有T型管道，T型管道的竖管段的上端与检测腔室下端的开口处连通，T型管道的竖管段的下端开设有真空检测口，T型管道的横管段内开设有氮气进气通道，T型管道的竖管段内设置有氮气进气管，氮气进气管的一端伸入检测腔室内，氮气进气管的另一端与氮气进气通道连通，T型管道的横管段上还安装有气动阀。本发明适用于扩散炉压力传感器保护。

主权项：1.一种实用的扩散炉压力传感器保护系统，其特征在于，包括压力传感器2和压力传感器2下部的检测腔室1，还设置有T型管道3，所述T型管道3的竖管段31的上端与检测腔室1下端的开口处连通，所述T型管道3的竖管段31的下端开设有真空检测口4，所述T型管道3的横管段32内开设有氮气进气通道5，所述T型管道3的竖管段31内设置有氮气进气管6，所述氮气进气管6的一端穿过检测腔室1下端的开口处并伸入检测腔室1内，所述氮气进气管6的另一端与氮气进气通道5连通，所述T型管道3的横管段32上还安装有用于控制氮气进气通道5开闭的气动阀；所述氮气进气管6为L型进气管，所述L型进气管的竖直段长度大于L型进气管的水平段长度。

全文数据：一种实用的扩散炉压力传感器保护系统技术领域本发明属于光伏设备生产技术领域，具体涉及一种实用的扩散炉压力传感器保护系统。背景技术随着光伏产业的迅速发展，太阳能暨光伏电池产品制造商的不断增加，大多企业对于制造的成本控制要求变得越来越高，人们对太阳能光伏电池产品生产的主要设备趋于国产化、设备组成零部件的研究发明和制造成本的趋于逐步降低，简洁灵活的操作性能成了为众多电池产品制造商的主要关注点。对于扩散炉而言，尤其是低压扩散炉，炉管内部的压力检测尤为总要，因为在同一个炉管内部，腔室内体积不变，温度恒定的情况下，压力大小和磷原子扩散速率成正比，为了能够使硅片表面扩散的磷原子浓度尽可能的均匀，采用低压扩散则成了必然趋势，而炉管内部压力检测，直接影响到产品制成的良率和后期电池片的转化效率；同时，真空系统在抽真空的同时，会将检测管路内部也抽成低压环境，炉管内部反应生成的酸性气体会在破真空的时候，受大气压作用下，回到压力传感器内部，压力传感器长期处于酸性环境，会对传感器内部电子元器件造成腐蚀，导致传感器损坏，在如果压力传感器检测反馈参数异常，则会直接导致该炉管产品工艺失败，产生大量不良品和人力成本浪费。同时，扩散炉厂家在真空泵选型时，受限于国内真空系统的发展原因，变频泵一般都采用国外的大品牌，这就造成了备件采购周期长的特点，一旦压力传感器备件损坏，而又无备件的情况下，则至少会造成4-8周的停机时间，造成产能和时间上的巨大浪费。发明内容本发明的目的在于：提供一种实用的扩散炉压力传感器保护系统，解决现有工艺产生的酸性尾气易对压力传感器电气结构造成腐蚀损坏，导致的生产过程出现异常停机的问题。本发明采用的技术方案如下：一种实用的扩散炉压力传感器保护系统，包括压力传感器和压力传感器下部的检测腔室，还设置有T型管道，所述T型管道的竖管段的上端与检测腔室下端的开口处连通，所述T型管道的竖管段的下端开设有真空检测口，所述T型管道的横管段内开设有氮气进气通道，所述T型管道的竖管段内设置有氮气进气管，所述氮气进气管的一端穿过检测腔室下端的开口处并伸入检测腔室内，所述氮气进气管的另一端与氮气进气通道连通，所述T型管道的横管段上还安装有用于控制氮气进气通道开闭的气动阀。进一步地，所述氮气进气管为L型进气管。进一步地，所述L型进气管的竖直段长度大于L型进气管的水平段长度。综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：1、本发明中，通过改善气路管道，在压力传感器下端增加一个氮气进气管，在炉管炉门开启取出硅片时，打开气动阀，使氮气从氮气进气通道再经氮气进气管吹出，从而对检测腔室进行吹扫，排出检测腔室内部酸性气体，从而降低酸性气体对压力传感器的腐蚀，有效的对压力传感器进行保护，提高了压力传感器的使用寿命，解决了现有工艺产生的酸性尾气易对压力传感器电气结构造成腐蚀损坏，导致的生产过程出现异常停机的问题。改善了各备件制成浪费、人力浪费和长时间宕机导致的产能损失的现象。附图说明图1为本发明的结构示意图；图2为本发明系统结构图；图中标记：1-检测腔室、2-压力传感器、3-T型管道、31-竖管段、32-横管段、4-真空检测口、5-氮气进气通道、6-氮气进气管。具体实施方式为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。一种实用的扩散炉压力传感器保护系统，包括压力传感器和压力传感器下部的检测腔室，还设置有T型管道，所述T型管道的竖管段的上端与检测腔室下端的开口处连通，所述T型管道的竖管段的下端开设有真空检测口，所述T型管道的横管段内开设有氮气进气通道，所述T型管道的竖管段内设置有氮气进气管，所述氮气进气管的一端穿过检测腔室下端的开口处并伸入检测腔室内，所述氮气进气管的另一端与氮气进气通道连通，所述T型管道的横管段上还安装有用于控制氮气进气通道开闭的气动阀。进一步地，所述氮气进气管为L型进气管。进一步地，所述L型进气管的竖直段长度大于L型进气管的水平段长度。本发明在实施过程中，通过改善气路管道，在压力传感器下端增加一个氮气进气管，在炉管炉门开启取出硅片时，打开气动阀，使氮气从氮气进气通道再经氮气进气管吹出，从而对检测腔室进行吹扫，排出检测腔室内部酸性气体，从而降低酸性气体对压力传感器的腐蚀，有效的对压力传感器进行保护，提高了压力传感器的使用寿命，解决了现有工艺产生的酸性尾气易对压力传感器电气结构造成腐蚀损坏，导致的生产过程出现异常停机的问题。改善了各备件制成浪费、人力浪费和长时间宕机导致的产能损失的现象。实施例1一种实用的扩散炉压力传感器保护系统，包括压力传感器和压力传感器下部的检测腔室，还设置有T型管道，所述T型管道的竖管段的上端与检测腔室下端的开口处连通，所述T型管道的竖管段的下端开设有真空检测口，所述T型管道的横管段内开设有氮气进气通道，所述T型管道的竖管段内设置有氮气进气管，所述氮气进气管的一端穿过检测腔室下端的开口处并伸入检测腔室内，所述氮气进气管的另一端与氮气进气通道连通，所述T型管道的横管段上还安装有用于控制氮气进气通道开闭的气动阀。通过改善气路管道，在压力传感器下端增加一个氮气进气管，利用炉管腔室内破真空完成后，在炉管炉门开启取出硅片时，开启与大气连通的阀门V12动作信号，取其信号打开气动阀V14，使氮气从氮气进气通道再经氮气进气管吹出，从而对检测腔室进行吹扫，排出检测腔室内部酸性气体，从而降低酸性气体对压力传感器的腐蚀，有效的对压力传感器进行保护，提高了压力传感器的使用寿命，解决了现有工艺产生的酸性尾气易对压力传感器电气结构造成腐蚀损坏，导致的生产过程出现异常停机的问题。改善了各备件制成浪费、人力浪费和长时间宕机导致的产能损失的现象。实施例2在实施例1的基础上，所述氮气进气管为L型进气管。实施例3在上述实施例的基础上，所述L型进气管的竖直段长度大于L型进气管的水平段长度。以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

权利要求：1.一种实用的扩散炉压力传感器保护系统，其特征在于，包括压力传感器2和压力传感器2下部的检测腔室1，还设置有T型管道3，所述T型管道3的竖管段31的上端与检测腔室1下端的开口处连通，所述T型管道3的竖管段31的下端开设有真空检测口4，所述T型管道3的横管段32内开设有氮气进气通道5，所述T型管道3的竖管段31内设置有氮气进气管6，所述氮气进气管6的一端穿过检测腔室1下端的开口处并伸入检测腔室1内，所述氮气进气管6的另一端与氮气进气通道5连通，所述T型管道3的横管段32上还安装有用于控制氮气进气通道5开闭的气动阀。2.按照权利要求1所述的一种实用的扩散炉压力传感器保护系统，其特征在于，所述氮气进气管6为L型进气管。3.按照权利要求1所述的一种实用的扩散炉压力传感器保护系统，其特征在于，所述L型进气管的竖直段长度大于L型进气管的水平段长度。

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