申请/专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;山东爱特机电技术有限责任公司

申请日：2021-01-07

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN112540513B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;H05G2/00;H05B3/40

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权;2021.04.09#实质审查的生效;2021.03.23#公开

摘要：本发明提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本发明过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。

主权项：1.一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，包括压紧螺母（3）、高速喷头（4）、本体（1）及内腔体（2），其特征在于：所述的本体（1）包括导热油输入口、导热油输出口（101）、内腔（102）、加热腔（103）及电加热棒（104），所述的本体（1）外壁下部设有导热油输入口，与导热油输入口相对的本体（1）一侧上部设有导热油输出口（101）；所述的本体（1）设有夹层，且夹层为加热腔（103），所述的加热腔（103）内填充有导热油，电加热棒（104）一端延伸至所述的加热腔（103）的导热油内，所述的电加热棒（104）另一端通过螺母固定在本体（1）顶部；所述的本体（1）内部中空，且中空处为内腔（102），所述的内腔（102）内安装有内腔体（2）；所述的内腔体（2）包括顶盖（201）、密封圈A（202）、固定帽（203）、压紧弹簧（204）、过滤帽（205）及输出通道（206），所述的顶盖（201）通过密封圈A（202）与内腔体（2）顶部螺纹连接，所述的内腔体（2）内壁设有凹槽，且固定帽（203）安装在所述的凹槽内，所述的固定帽（203）顶部与顶盖（201）底部接触，固定帽（203）底部为U型槽，所述的U型槽内固定有压紧弹簧（204），所述的压紧弹簧（204）底部为过滤帽（205），所述的过滤帽（205）下部与内腔体（2）内的凹槽固定连接，过滤帽（205）底部连通有输出通道（206），且输出通道（206）设在内腔体（2）内，所述的输出通道（206）与高速喷头（4）连接，所述的高速喷头（4）通过密封圈B（5）与压紧螺母（3）连接，所述的压紧螺母（3）通过螺纹固定在本体（1）底部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海光学精密机械研究所;山东爱特机电技术有限责任公司 一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置

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