申请/专利权人：烟台先浩真空科技有限公司

申请日：2023-08-23

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220677131U

主分类号：B01D46/10

分类号：B01D46/10;B01D46/681;B01D46/88;C23C14/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜反应气体脉动充气装置，包括真空镀膜机和设置在真空镀膜机一侧的脉动充气机，脉动充气机侧端设置有进气口，脉动充气机侧端位于进气口处固定设置有进气管，进气管的进口处固定设置有环形滤板，环形滤板上设置有与进气管相适配的滤网，脉动充气机外侧壁位于进气管下方固定设置有液压杆，液压杆的输出端固定设置有支柱，支柱上端固定设置有电机，电机的输出端固定设置有安装板，安装板侧壁设置有毛刷。通过启动液压杆，使液压杆带动支柱和电机向滤网靠近，使毛刷接触滤网，再通过电机带动安装板和毛刷转动，对滤网表面灰尘进行清理，此时真空镀膜机和脉动充气机可正常工作，提高了工作效率。

主权项：1.一种真空镀膜反应气体脉动充气装置，包括真空镀膜机1和设置在真空镀膜机1一侧的脉动充气机2，其特征在于，所述脉动充气机2侧端设置有进气口，所述脉动充气机2侧端位于进气口处固定设置有进气管3，所述进气管3的进口处固定设置有环形滤板4，所述环形滤板4上设置有与进气管3相适配的滤网5，所述脉动充气机2外侧壁位于进气管3下方固定设置有液压杆6，所述液压杆6的输出端固定设置有支柱7，所述支柱7上端固定设置有电机8，所述电机8的输出端固定设置有安装板9，所述安装板9侧壁设置有毛刷10，所述毛刷10用于清理滤网5表面灰尘。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 烟台先浩真空科技有限公司 一种真空镀膜反应气体脉动充气装置

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