申请/专利权人：东莞市多为自动化科技有限公司

申请日：2023-10-07

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220827459U

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/455;B08B1/20;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型公开了一种光伏电池镀膜反应炉，涉及光伏电池镀膜设备技术领域，包括加热炉体和固定设在加热炉体内部的不锈钢桶，所述加热炉体的炉口处固定设有法兰，所述法兰内固定设有进气管道，所述不锈钢桶内壁固定设有螺旋盘管，所述螺旋盘管和进气管道之间相连通，所述螺旋盘管内圈开设有均匀分布的多个漏斗孔。本实用新型通过单个螺旋盘管内多个漏斗孔的设置，能对反应气体较均匀的排入加热炉体内的各处，使加热炉体内不易由于进气而产生温差，保证加热炉体内温度的均匀性，从而提高成膜的均匀性，单个螺旋盘管更易检修，且漏斗孔在自身结构下能对螺旋盘管内排出的反应气体进行扩散，提高漏斗孔排气时的均匀性。

主权项：1.一种光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体（1）和固定设在加热炉体（1）内部的不锈钢桶（11），所述加热炉体（1）的炉口处固定设有法兰（13），所述法兰（13）内固定设有进气管道（14），其特征在于：所述不锈钢桶（11）内壁固定设有螺旋盘管（2），所述螺旋盘管（2）和进气管道（14）之间相连通，所述螺旋盘管（2）内圈开设有均匀分布的多个漏斗孔（21），所述漏斗孔（21）沿螺旋盘管（2）内壁至螺旋盘管（2）外壁的方向直径尺寸逐渐增大，所述加热炉体（1）远离法兰（13）的一端活动设有顶板（34）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞市多为自动化科技有限公司 一种光伏电池镀膜反应炉

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