申请/专利权人：国网山西省电力公司电力科学研究院;西南大学

申请日：2023-11-27

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117804649A

主分类号：G01L1/22

分类号：G01L1/22

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及三明治结构的压阻式柔性压力传感器及其制备方法，属于压力传感器的制备技术领域。本发明公开的三明治结构的压阻式柔性压力传感器，以PDMS作为柔性基底材料，以rGONano‑ZnO为导电填料，通过溶液浸泡、高效吸附、干燥等方法制备出导电能力良好的rGONano‑ZnOPDMS复合材料，致使制备得到的压阻式柔性压力传感器的有效传感区间为0～100kPa，在0～10kPa内灵敏度为0.19～0.14kPa‑1、线性度为0.971以上，在10～100kPa内灵敏度为0.0042～0.0035kPa‑1、线性度为0.925以上，响应时间最低可达60ms，拥有良好的静态稳定性、动态稳定性和循环稳定性。

主权项：1.三明治结构的压阻式柔性压力传感器，其特征在于，所述压阻式柔性压力传感器从下到上包括：绝缘胶带、固定电极、rGONano-ZnOPDMS敏感材料层以及绝缘胶带，其中rGONano-ZnOPDMS敏感材料层位于固定电极的绝缘部分连接处；所述固定电极为带有电路图案的柔性覆铜PI基板在由CuCl2和NH4SO4混合溶解在盐酸溶液中得到蚀刻液中反应得到，所述rGONano-ZnOPDMS敏感材料层通过PDMS凝胶浸泡在含有石墨烯和纳米氧化锌的水性分散液中形成。

全文数据：

权利要求：

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