申请/专利权人：江苏亚电科技股份有限公司

申请日：2024-03-01

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117804199A

主分类号：F26B21/12

分类号：F26B21/12;F26B25/00;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及流量控制技术领域，具体涉及一种晶圆清洗过程中吹风气体流量控制方法及系统。该方法首先通过由附着有IPA混液的晶圆进行平铺扩展构成晶圆表面矩阵；确定所述晶圆表面矩阵中每个元素的局部描述子以及每个时刻的整体描述子；分解整体描述子构成的时序序列，得到整体趋势项；结合不同时刻下整体趋势项的倾斜程度、相邻两个元素对应的当前时刻下整体趋势项的倾斜程度和不同时刻的整体描述子，确定流量控制系数；通过所述流量控制系数，对初始吹风口半径进行调节，得到扩张吹风口半径。本发明通过自适应的对吹风口半径进行调节，实现了增加蒸汽扩散速率，减少蒸汽干燥的处理时间的目的。

主权项：1.一种晶圆清洗过程中吹风气体流量控制方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：由附着有IPA混液的晶圆进行平铺扩展构成晶圆表面矩阵；结合所述晶圆表面矩阵中每个元素与周围元素的分布情况，确定每个元素的局部描述子；根据不同时刻下晶圆表面矩阵中局部描述子的数量、在相邻时刻下不同局部描述子的数值变化、以及每个元素与最近元素之间的距离，确定每个时刻的整体描述子；对于由每个时刻的整体描述子构成的时序序列进行分解，得到整体趋势项；结合不同时刻下整体趋势项的倾斜程度、相邻两个元素对应的当前时刻下整体趋势项的倾斜程度和不同时刻的整体描述子，确定流量控制系数；通过所述流量控制系数，对初始吹风口半径进行调节，得到扩张吹风口半径。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏亚电科技股份有限公司 一种晶圆清洗过程中吹风气体流量控制方法及系统

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