申请/专利权人：华为技术有限公司

申请日：2022-09-26

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117804168A

主分类号：F26B3/28

分类号：F26B3/28;F26B5/04;F26B9/06;F26B23/04;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.02#公开

摘要：本申请提供一种超临界干燥设备，涉及干燥技术领域，通过设置特征光谱加热器对腔体内的待干燥器件进行单独加热，从而能够实现灵活控温。该超临界干燥设备包括干燥箱、载物装置、第一特征光谱加热器。其中，干燥箱具有腔体。载物装置位于腔体内，用于承载待干燥器件。第一特征光谱加热器包括至少一个第一光源，且第一光源发出的光线能够入射至待干燥器件的第一表面。待干燥器件的第一表面具有第一特征吸收光谱波段；第一光源的光谱波段包含第一特征吸收光谱波段，且第一光源的光谱波段与腔体内的超临界介质的特征吸收光谱波段不同。

主权项：1.一种超临界干燥设备，其特征在于，包括：干燥箱，所述干燥箱具有腔体；载物装置，所述载物装置位于所述腔体内，用于承载待干燥器件；第一特征光谱加热器，所述第一特征光谱加热器包括至少一个第一光源，且所述第一光源发出的光线能够入射至所述待干燥器件的第一表面；其中，所述待干燥器件的所述第一表面具有第一特征吸收光谱波段；所述第一光源的光谱波段包含所述第一特征吸收光谱波段，且所述第一光源的光谱波段与所述腔体内的超临界介质的特征吸收光谱波段不同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华为技术有限公司 超临界干燥设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD