申请/专利权人：江苏佑光科技股份有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810160A

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及一种固晶机微动顶针装置，其顶吸机构包括顶吸套筒和活动设于顶吸套筒内的顶针组件，顶针组件通过弹簧与凸轮机构弹性连接，顶针组件包括顶杆和设于顶杆上端或正上方的顶针，顶针包括针杆和针头，顶吸套筒顶部中心处加工有用于供顶针伸出的出针孔区域，所述顶针上设有一个碗状的橡胶盘，橡胶盘的碗口大小与出针孔区域相适配，且碗口正对出针孔区域；顶杆向上运动至最大行程时，橡胶盘受压缩将橡胶盘内的空气从出针孔挤出；本发明的固晶机微动顶针装置，通过设置橡胶盘，以及在针头表面加工放气槽，当针头向上移动刺破晶盘的蓝膜时，气体进入到晶元和蓝膜之间，使晶元和和蓝膜能更快、更彻底的分离，对晶元的抓取动作更为稳定高效。

主权项：1.一种固晶机微动顶针装置，其特征在于：包括带有凸轮机构的微动平台，微动平台上设有顶吸机构，顶吸机构包括顶吸套筒和活动设于顶吸套筒内的顶针组件，顶吸套筒外侧设有用于使顶吸套筒内短时建立负压的阀门；顶针组件通过弹簧与凸轮机构弹性连接，顶针组件包括顶杆和设于顶杆上端或正上方的顶针，顶针包括针杆和针头，顶吸套筒顶部中心处加工有用于供顶针伸出的出针孔区域，出针孔区域至少包括一个出针孔，出针孔区域四周均匀加工有多个吸附孔；凸轮机构运行时，带动顶杆上下运动；顶杆向上运动时顶吸套筒内产生负压，顶杆向上运行至最大行程时带动针头上端伸出于顶吸套筒；所述顶针上设有一个碗状的橡胶盘，橡胶盘的碗口大小与出针孔区域相适配，且碗口正对出针孔区域；顶杆向上运动至最大行程时，橡胶盘受压缩将橡胶盘内的空气从出针孔挤出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏佑光科技股份有限公司 固晶机微动顶针装置

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