申请/专利权人：富士胶片株式会社

申请日：2023-09-05

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117812989A

主分类号：H10N30/50

分类号：H10N30/50;H10N30/00;H10N30/853;H10N30/045;H10N30/20

优先权：["20220930 JP 2022-158868"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及压电元件及致动器，课题为以低成本提供在低电压下获得高的压电性能的压电元件及压电致动器。压电元件在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极，第1压电膜及第2压电膜均以在A位包含Pb且在B位包含Zr、Ti及M的钙钛矿型氧化物作为主成分，M为选自V、Nb、Ta、Sb、Mo及W中的金属元素，第1压电膜和第2压电膜所包含的钙钛矿型氧化物中的Pb组成比不同，使第1电极接地、将第2电极作为驱动电极对第1压电膜测定的极化‑电场滞后和使第2电极接地、将第3电极作为驱动电极对第2压电膜测定的极化‑电场滞后相对于各自的原点向相同的电场方向偏移。

主权项：1.一种压电元件，其在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极，所述第1压电膜及所述第2压电膜均以在A位包含Pb且在B位包含Zr、Ti及M的钙钛矿型氧化物作为主成分，M为选自V、Nb、Ta、Sb、Mo及W中的金属元素，元素符号表示各自的摩尔比，并以PbZr+Ti+M规定所述钙钛矿型氧化物中的Pb组成比时，所述第1压电膜中的所述Pb组成比与所述第2压电膜中的所述Pb组成比不同，所述第1压电膜和所述第2压电膜均一致地沿膜厚方向自发极化，并且所述第1压电膜和所述第2压电膜的所述自发极化的朝向相同，使所述第1电极接地、将所述第2电极作为驱动电极对所述第1压电膜测定的极化-电场滞后和使所述第2电极接地、将所述第3电极作为驱动电极对所述第2压电膜测定的极化-电场滞后相对于各自的原点向相同的电场方向偏移。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 富士胶片株式会社 压电元件及致动器

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