申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司

申请日：2022-08-02

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117813556A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G02B7/182

优先权：["20210813 DE 102021208879.1"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.02#公开

摘要：一种用于投射曝光装置1的光学元件100A、100B，包含具有光学作用面102的反射镜本体104，该反射镜本体104包含底座部位106、132，其承载传感器系统108、110；以及边缘部位120、136，在其上设置用于将致动器连接到该光学元件100A、100B的致动器连接器122、124、126，该底座部位106、132具有与该边缘部位120、136相比更大的刚度，且该反射镜本体104包含加强肋结构120、130、138、140，其附接到后侧上的边缘部位120、136。

主权项：1.一种用于投射曝光装置1的光学元件100A、100B，包含：反射镜本体104，其具有光学作用面102，该反射镜本体104包含底座部位106、132，其承载传感器系统108、110；以及边缘部位120、136，在其上设置用于将致动器连接到该光学元件100A、100B的致动器连接器122、124、126，该底座部位106、132具有与该边缘部位120、136相比更大的刚度，以及该反射镜本体104包含加强肋结构120、130、138、140，其附接到后侧上的该边缘部位120、136。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 光学元件、投射光学单元和投射曝光装置

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