申请/专利权人：深圳市智立方自动化设备股份有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810124A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;G06T7/11;G06T7/70;B07C5/36

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及晶圆分选技术领域，且公开了一种分选机F标兵算法，该算法包括以下步骤：1）加载F标兵晶粒map文档，F标兵晶粒是均匀地分布在晶圆上的，每颗F标兵晶粒都有map行列坐标，先通过加载文件的方式获取所有F标兵晶粒的map行列坐标；2）视觉定位F标兵晶粒初始位置；3）F标兵晶粒区域划分与管理。该分选机F标兵算法，来通过使用外观与普通晶粒不一致的F标兵晶粒，配合直接输入F标兵map行列坐标、视觉定位准确的初始位置和对应进行的区域划分及管理的F标兵算法，来在膜缩比较严重时，即使芯片偏移了半颗芯片间距以上，也会因F标兵外观特殊，而有效避免视觉识别找错标兵晶粒，减少扫描标兵时间，实现产能效率的提升。

主权项：1.一种分选机F标兵算法，其特征在于：该算法包括以下步骤：1）加载F标兵晶粒map文档，F标兵晶粒是均匀地分布在晶圆上的，每颗F标兵晶粒都有map行列坐标，先通过加载文件的方式获取所有F标兵晶粒的map行列坐标；2）视觉定位F标兵晶粒初始位置，当分选流程合并完map图后，根据F标兵晶粒的map行列坐标，在F标兵晶粒邻近九宫格行列范围内，找到最近的已经合并的晶粒，根据该晶粒位置，以及与F标兵晶粒相差的行列间隔，推算出F标兵晶粒的理论位置，然后去该理论位置拍照采图，得到F标兵晶粒的实际轴位置；3）F标兵晶粒区域划分与管理，根据F标兵晶粒的map行列坐标，将整个晶圆区域均匀分割成一块块以F标兵晶粒为中心的矩形区域进行管理。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市智立方自动化设备股份有限公司 一种分选机F标兵算法

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