申请/专利权人：无锡芯谱半导体科技有限公司

申请日：2022-05-23

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN114941125B

主分类号：C23C14/30

分类号：C23C14/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2022.09.13#实质审查的生效;2022.08.26#公开

摘要：本发明公开了电子束蒸发台专用行星架，包括外保护箱，所述外保护箱上表面贴合安装有上限位座，所述外保护箱内壁开设有保护槽，所述保护槽内部啮合安装有收纳板，所述收纳板上部安装有第一连接板，所述第一连接板内部啮合安装有三组转动齿轮，所述收纳板下表面贴合安装有底齿轮盘。第一连接板通过啮合的方式安装在保护槽内部，旋转板的旋转带动中心齿轮旋转，从而带动转动齿轮旋转，转动齿轮通过第一连接板内壁开设的配合齿槽与第一连接板啮合，在转动齿轮旋转后带动底齿轮盘进行旋转，通过各个组件的齿轮啮合目的来减少定位齿轮在受到驱动动力工作时发生的突然加速而产生的震动，增加行星盘使用的稳定性。

主权项：1.电子束蒸发台专用行星架，包括外保护箱1，其特征在于：所述外保护箱1上表面贴合安装有上限位座2，所述上限位座2内部活动安装有旋转板6，所述外保护箱1内壁开设有保护槽12，所述保护槽12内部啮合安装有收纳板14，所述收纳板14上部安装有第一连接板15，所述第一连接板15内部啮合安装有三组转动齿轮18，所述收纳板14下表面贴合安装有底齿轮盘27，所述底齿轮盘27外部设置有滑动座30，所述滑动座30下部设置有倾斜板35，所述倾斜板35下部活动安装有行星盘39，所述滑动座30下部贴合设置有底板40，所述底板40上部卡接安装有保护盖44；所述外保护箱1外表面下部设置有第一对接板10，所述第一对接板10上下贯穿栓接有八组定位螺栓11，所述外保护箱1下表面向内开设有保护槽12，所述保护槽12内壁开设有内齿槽13，所述第一连接板15外表面对应内齿槽13设置有外齿16，所述第一连接板15内壁开设有配合齿槽17，三组所述转动齿轮18上表面贴合安装有上卡板19，三组所述转动齿轮18下表面贴合安装有下卡板20；所述转动齿轮18中心上下贯穿设置有连接轴22，所述上卡板19对应连接轴22位置贯穿开设有锁紧槽21，所述连接轴22两端对应卡接在锁紧槽21内部，所述上卡板19中心上部对应连接杆9位置设置有第二连接板23，且第二连接板23与连接杆9固定连接安装；所述第二连接板23下表面贯穿上卡板19和下卡板20设置有定位杆24，所述定位杆24外表面对应转动齿轮18位置套有中心齿轮25，所述中心齿轮25中心对应定位杆24位置贯穿开设有安装孔26，所述中心齿轮25通过安装孔26与定位杆24卡接安装，所述中心齿轮25外表面与三组转动齿轮18啮合安装；所述底齿轮盘27中心贯穿开设有连接孔28，所述底齿轮盘27上表面等距开设有栓孔29，所述滑动座30上表面中心对应连接孔28固定安装有限位轴31，所述滑动座30外表面和下表面等距卡接安装有辅助滚珠32；所述滑动座30下表面中心固定安装有定位块34，所述定位块34外表面等距安装有三组倾斜板35，所述倾斜板35下部贯穿开设有定位通孔36，所述行星盘39后侧设置有安装轴37，所述安装轴37贯穿定位通孔36转动安装，所述安装轴37外表面对应倾斜板35上下侧表面设置有限位板38。

全文数据：

权利要求：

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