申请/专利权人：FEI公司

申请日：2021-06-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN113945596B

主分类号：G01N23/2202

分类号：G01N23/2202;G01N23/2251;G01N23/04;G01N1/28

优先权：["20200630 US 16/917727"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2023.01.20#实质审查的生效;2022.01.18#公开

摘要：基于线的端点检测。本文公开了针对端点检测的设备和方法。示例方法至少包括：在样品的顶表面上形成多条线；从所述样品的工作表面多次去除材料，所述工作表面不同于所述顶表面；对所述样品进行多次成像以至少捕获所述多条线；以及基于所述多条线中的两条或更多条线之间的相对空间特性来确定端点。

主权项：1.一种用于端点检测的方法，其包含：在样品的顶表面上形成至少三条线；从所述样品的工作表面多次去除材料，所述工作表面不同于所述顶表面；对所述样品进行多次成像以至少捕获所述至少三条线；以及基于所述至少三条线之间的相对空间特性来确定端点，其中相对空间特性包括所述至少三条线中的第一组线之间的距离与所述至少三条线中的第二组线之间的距离的比率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： FEI公司 基于线的端点检测

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