申请/专利权人：无锡物联网创新中心有限公司

申请日：2023-06-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN116643468B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2023.09.12#实质审查的生效;2023.08.25#公开

摘要：本申请公开了一种光刻机工件台的内外扰动在线观测方法，涉及光刻机技术领域，包括：根据光刻机工件台的二阶抽象模型，确定非线性扰动观测器的数学模型；获取所述光刻机工件台的实际位移与前馈‑反馈控制器的输出信号；根据所述数学模型、所述实际位移与所述输出信号，计算得到光刻机工件台的总扰动估计值。该方法能够在线精确估计光刻机工件台的内外扰动。本申请还公开了一种光刻机工件台的内外扰动在线观测装置、设备以及计算机可读存储介质，均具有上述技术效果。

主权项：1.一种光刻机工件台的内外扰动在线观测方法，其特征在于，包括：根据光刻机工件台的二阶抽象模型，确定非线性扰动观测器的数学模型；获取所述光刻机工件台的实际位移与前馈-反馈控制器的输出信号；根据所述数学模型、所述实际位移与所述输出信号，计算得到光刻机工件台的总扰动估计值；所述非线性扰动观测器的数学模型为为所述总扰动估计值，c为所述非线性扰动观测器的增益，m为所述光刻机工件台的等效质量，λc为阻尼，λk为弹性系数，KP,motor为比例增益，ufb为所述前馈-反馈控制器的输出信号，z为中间变量，x1为所述光刻机工件台的实际位移，x2为x1的一阶导数；所述前馈-反馈控制器的输出信号为反馈环节根据输出的信号；ufb为所述输出信号，KP,pos为位置环的比例增益，KP,vel为速度环的比例增益，KI,vel为速度环的积分增益，ε*k＝εk+uffk，ε为所述光刻机工件台位移的实际误差，uff为前馈环节的前馈输出，v为所述光刻机工件台的移动速度，k为第k时刻，ε*i表示的是第i时刻前馈环节的输出与光刻机工件台位移的实际误差的和，vi表示第i时刻光刻机工件台的移动速度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡物联网创新中心有限公司 一种光刻机工件台的内外扰动在线观测方法及相关装置

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