申请/专利权人：杭州电子科技大学温州研究院有限公司;杭州电子科技大学

申请日：2021-07-02

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN113460950B

主分类号：B81B7/02

分类号：B81B7/02;B81C1/00;A61B5/256;A61B5/268;A61B5/28

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2021.10.26#实质审查的生效;2021.10.01#公开

摘要：本发明公开了一种用于心血管疾病监测的柔性可穿戴心电极及其制备方法。目前，标准的用于ECG信号检测的商用AgAgCl电极主要通过导电胶来维持电极和皮肤之间良好的导电性。然而，这种导电胶会随着时间的增加而变得干燥，从而导致电极‑组织界面阻抗的变化以及信号质量的急剧降低。本发明拟采用具有低杨氏模量和高生物相容性的PDMS和SU‑8作为干电极的衬底，通过保形贴附和减小刺激来提高佩戴舒适度。另一方面，为了提高信号的稳定性，本项目拟采用中空的微针阵列来刺穿皮肤角质层，通过结合电化学修饰和电解液缓释来降低电极与组织之间的界面阻抗，从而提高ECG信号的质量和稳定性。

主权项：1.一种用于心血管疾病监测的柔性可穿戴心电极的制备方法，其特征在于：制得的柔性可穿戴心电极包括电极部（1）、PDMS柔性衬底和金属焊盘（3）；电极部（1）包括SU-8微针（1-1）和支撑层（1-2）；所述的SU-8微针（1-1）和支撑层（1-2）的材质为SU-8；支撑层（1-2）上设置电极位；电极位上设置有多根呈锥形的SU-8微针（1-1）；SU-8微针（1-1）上设置有贯穿SU-8微针（1-1）和支撑层（1-2）的流体孔道；支撑层（1-2）上设置有金属焊盘（3）；支撑层（1-2）上沉积有金属层；金属层覆盖各SU-8微针（1-1），并在支撑层（1-2）形成连接电极位与金属焊盘（3）的导线；各SU-8微针（1-1）的表面设置有导电聚合物；支撑层（1-2）贴合在PDMS柔性衬底（2）上；PDMS柔性衬底（2）中设置有流体腔室（2-1）；流体腔室（2-1）内存储有电解液，并与SU-8微针上的流体孔道连通；该制备方法具体如下：1在石英玻璃片上旋涂PMMA并加热固化为牺牲层；2在牺牲层上旋涂SU-8光刻胶并进行光刻图形化，形成SU-8支撑层；3在SU-8支撑层上沉积一层金属并进行图形化，形成不透光的金属掩模；4在沉积金属的SU-8支撑层上再次旋涂一层SU-8光刻胶，并从石英玻璃片背面进行背面曝光；5在SU-8支撑层上沉积一层金属并进行光刻图形化，形成SU-8微针、导线和金属焊盘结构；6在石英玻璃片正面粘贴一层水溶性胶带，利用水溶性胶带将电极部从石英玻璃片上释放下来；7在另一块未使用的石英玻璃片上旋涂一层SU-8光刻胶并进行光刻图形化，形成PDMS的倒模结构；8在倒模结构的表面沉积一层paryleneC作为PDMS的脱模剂；9在石英玻璃正面旋涂一层PDMS前驱体并加热固化，形成流体腔室（2-1）结构；10将固化后的PDMS柔性衬底（2）从倒模结构上释放下来，并将其开口朝上键合到另一块未使用的石英玻璃片上；11用氧等离子体分别处理PDMS柔性衬底（2）和SU-8支撑层的表面，随后将PDMS柔性衬底（2）和SU-8支撑层贴合在一起，通过加压和加热实现键合；12将键合好的柔性可穿戴心电极从石英玻璃片上揭下来，然后放进去离子水中溶解掉水溶性胶带实现释放。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州电子科技大学温州研究院有限公司;杭州电子科技大学 用于心血管疾病监测的柔性可穿戴心电极及其制备方法

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