申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-07-06

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220703790U

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;C23C16/44

优先权：["20220708 KR 10-2022-0084112"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：公开了一种沉积设备，所述沉积设备包括：气体供应件，包括多个气体注入口；板，设置为面对气体供应件，并且设置为朝向气体供应件上下移动，其中，目标基底放置在板上；主体部，包括限定板与气体供应件之间的反应空间的第一部分以及设置在第一部分下方并且限定下空间的第二部分；以及多个第一排出部，设置在第一部分的外壁上。该沉积设备可以快速地排出主体部中的气体并且可以使沉积工艺时间最小化。

主权项：1.一种沉积设备，其特征在于，所述沉积设备包括：气体供应件，包括多个气体注入口；板，设置为面对所述气体供应件，并且设置为朝向所述气体供应件上下移动，其中，目标基底放置在所述板上；主体部，包括：第一部分，限定所述板与所述气体供应件之间的反应空间；以及第二部分，设置在所述第一部分下方，并且限定下空间，以及多个第一排出部，设置在所述第一部分的外壁上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 沉积设备

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