申请/专利权人:铜陵安德科铭电子材料科技有限公司
申请日:2023-09-04
公开(公告)日:2024-04-02
公开(公告)号:CN220703793U
主分类号:C23C16/52
分类号:C23C16/52;C23C16/455;C23C16/44
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.02#授权
摘要:本实用新型提供了一种化学气相沉积反应器内混合气体控制装置,涉及气相沉积反应器技术领域,包括安装座、气相沉积反应器和密封盖;所述安装座上安装有气相沉积反应器,且气相沉积反应器的内侧壁设置有内衬层,所述气相沉积反应器的上端扭合有密封盖,且密封盖与气相沉积反应器之间拆分连接,所述安装座、气相沉积反应器和密封盖的中心均为位于同一轴线上,且密封盖的前侧中部设置有控制面板;所述安装座的左右两部均设置有多组支撑架,且支撑架的下端固定在底板上。本实用新型结构设置安全严密可靠,方便对不同的气体进行均匀输入,并且边输入边均匀搅拌,促进气体快速、均匀混合在一起,有助于提高整体工作效率,使用方便省事。
主权项:1.一种化学气相沉积反应器内混合气体控制装置,其特征在于,包括安装座(1)、气相沉积反应器(2)和密封盖(3);所述安装座(1)上安装有气相沉积反应器(2),且气相沉积反应器(2)的内侧壁设置有内衬层(20),所述气相沉积反应器(2)的上端扭合有密封盖(3),且密封盖(3)与气相沉积反应器(2)之间拆分连接,所述安装座(1)、气相沉积反应器(2)和密封盖(3)的中心均为位于同一轴线上,且密封盖(3)的前侧中部设置有控制面板(30)。
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权利要求:
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