申请/专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司

申请日：2023-08-30

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220710263U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型涉及硅料清洗工艺领域，具体涉及一种全自动高纯硅料清洗设备的双花篮兼容清洗装置，包括：清洗槽，所述清洗槽内设置两第一支撑机构，所述第一支撑机构适于支撑圆篮；以及所述清洗槽底部还设置有旋转机构，所述旋转机构与所述第一支撑机构相对应，所述第一支撑机构上具有旋转工位；其中圆篮放入所述旋转工位时，所述旋转机构与所述圆篮啮合，以使所述旋转机构驱动圆篮转轴。通过设置旋转机构，使得放置圆篮时，可以驱动圆篮转动，以保证圆篮内的料件与清洗药液完全接触，没有清洗死角。通过设置第一支撑机构和第二支撑机构，能够兼容两种不同的料篮。

主权项：1.一种全自动高纯硅料清洗设备的双花篮兼容清洗装置，其特征在于，包括：清洗槽（1），所述清洗槽（1）内设置两第一支撑机构（2），所述第一支撑机构（2）适于支撑圆篮；以及所述清洗槽（1）底部还设置有旋转机构（3），所述旋转机构（3）与所述第一支撑机构（2）相对应，所述第一支撑机构（2）上具有旋转工位；其中圆篮放入所述旋转工位时，所述旋转机构（3）与所述圆篮啮合，以使所述旋转机构（3）驱动圆篮转轴。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 常州捷佳创精密机械有限公司 一种全自动高纯硅料清洗设备的双花篮兼容清洗装置

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